[发明专利]涂覆和固化装置及方法

权利要求书

1.一种涂覆和固化装置，包括：

组合式辊涂和固化设备的传送器系统，其中所述组合式辊涂和固化设备包括至少一个辊涂设备和至少一个固化设备，并且其中所述传送器系统适合于运输基本平整的衬底穿过所述组合式辊涂和固化设备；

处理器，其控制所述至少一个辊涂设备的工艺参数；和

所述至少一个固化设备的气刀，其中当所述平整衬底被运输穿过所述至少一个固化设备时，所述气刀适合于将被加热的空气引导至所述平整衬底的一部分上，

其中所述至少一个辊涂设备适合于对所述基本平整的衬底涂覆溶胶凝胶涂料。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述基本平整的衬底是至少部分完成的太阳能模块的一部分。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括设置在空气流中的电气元件，以便加热流过所述气刀的空气。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述空气被加热至大约300℃至1000℃之间的温度。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括空气流中的风扇，其将空气引导至所述气刀。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括电子控制器，其基于来自至少一个定位在空气流中的温度传感器的读数而控制温度。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括排气装置，以便从所述装置中除去被加热的空气。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括连接在所述气刀的前缘上的平整板，其中所述平整板适合于与所述基本平整的衬底的顶表面形成预热室。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括沿着所述传送器系统而设置在所述气刀之前的红外线发射器，其中所述红外线发射器适合于将所述基本平整的衬底加热至25℃至200℃之间的温度。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括沿着所述传送器系统而设置在所述气刀之后的红外线发射器，其中所述红外线发射器适合于将所述平整的衬底保持在120℃至400℃之间的温度。

11.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述工艺参数包括至少以下其中一个：i.刮刀辊间距；ii.给施料辊的压力、相对于所述基本平整的衬底所采用的施料辊间距或压力、通过所述传送器系统运输基本平整的衬底的速度、以及在反向辊涂的情况下，在所述基本平整的衬底和所述施料辊的施料表面之间的速度差异。

12.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述处理器进一步控制所述固化设备的工艺参数。

13.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，按顺序设置了多个辊涂设备和固化设备。

14.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，离开所述气刀的空气温度在大约500℃至750℃之间。

15.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述基本平整的衬底在所述传送器系统上的速度在0.25cm/s至3.5cm/s之间。

16.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述基本平整的衬底的表面的最后温度在150℃至600℃之间。

17.一种涂覆和固化方法，包括：

利用传送器系统运输有待涂覆的基本平整的衬底穿过组合式辊涂和固化设备，其中所述组合式辊涂和固化设备包括至少一个辊涂设备和至少一个固化设备；

利用所述至少一个辊涂设备对所述基本平整的衬底辊涂溶胶凝胶涂料；和

利用所述至少一个固化设备的气刀固化所述基本平整的衬底上的溶胶凝胶涂料，其中当所述传送器系统运输所述基本平整的衬底穿过所述固化设备时，所述气刀适合于将被加热的空气引导至所述基本平整的衬底的一部分上。

18.一种通过权利要求17的方法而形成的涂覆溶胶凝胶的基本平整的衬底，其特征在于，所述溶胶凝胶涂料的一部分被固化，而所述溶胶凝胶涂料的不同部分仍未固化。