[发明专利]半导体激光模块及其制造方法

说明书

半导体激光模块(1)具备射出具有沿着Z方向的光轴的激光L的半导体激光元件(30)、对激光L的成分中的快轴方向(Y方向)的成分进行准直的准直透镜(40)、以及相对于半导体激光元件(30)被固定的透镜固定块(50)。透镜固定块(50)具有与X方向垂直的透镜安装面(50A)。准直透镜(40)的X方向上的端部(40A)通过透镜固定用树脂(42)被固定在透镜固定块(50)的透镜安装面(50A)上。

技术领域

本发明涉及半导体激光模块及其制造方法，特别是涉及包括半导体激光元件和对从半导体激光元件射出的激光进行准直的准直透镜的半导体激光模块及其制造方法。

背景技术

一般，与半导体激光元件的pn结垂直的方向被称为快轴，与pn结平行的方向被称为慢轴，半导体激光元件的快轴方向的开口数远大于慢轴方向的开口数。因此，从半导体激光元件射出的激光在快轴方向上具有较大的宽度。因此，需要在半导体激光元件的射出面的附近配置对从半导体激光元件的射出的激光的快轴方向的成分进行准直的准直透镜(例如参照专利文献1以及专利文献2)。

为了使用这种准直透镜来构成所希望的光学系统，需要在沿着光轴的方向以及沿着快轴的方向上相对于半导体激光元件以高精度固定准直透镜，并抑制半导体激光元件与准直透镜之间的位置关系的变动。具体而言，半导体激光元件和准直透镜间的位置关系需要以微米级固定以及维持。

例如，在专利文献1的第4图所公开的光纤安装装置中，准直透镜(光纤透镜26)沿着其轴线以能够滑动的方式安装，为了使光纤透镜26能够滑动，需要在圆筒形夹紧器52与光纤透镜26之间形成一定的缝隙。因此，不可能在从半导体激光元件棒10射出的激光的光轴方向以及快轴方向的双方以微米级抑制光纤透镜26的位置的变动。

另外，专利文献1的光纤透镜26利用环氧树脂50被固定在安装部件40上，但伴随着该环氧树脂50的固化收缩，光纤透镜26在激光的光轴方向上产生偏差。并且，由于该光纤透镜26利用环氧树脂50直接被固定在安装部件40上，所以为了进行光纤透镜26的调心，至少需要将调心对准量以上的环氧树脂50设置于安装部件40与光纤透镜26之间。因该环氧树脂50的温度、湿度所产生的收缩、膨胀，光纤透镜26也在快轴方向上产生偏差。

另外，在专利文献2中公开了分别利用钎焊层5、8将半导体激光元件1和准直透镜6固定于一个辅助物体4，使半导体激光元件1的弯曲和准直透镜6的弯曲连动来抑制两者间的位置关系的变动的半导体激光模块。在调整半导体激光元件1的位置时，为了钎焊层5、8的钎焊，需要例如约在400℃的高温下进行半导体激光元件1的定位。然而，由于在这样的温度下无法从半导体激光元件1射出激光，所以存在无法一边从半导体激光元件1射出激光一边对准直透镜6进行调心(所谓的主动调心)这个问题。

在这种情况下，如果代替钎焊层5、8而使用树脂等来固定半导体激光元件1以及准直透镜6则可进行主动调心，即使在该情况下，由于因树脂的收缩、膨胀，辅助物体4以及准直透镜6的位置相对于半导体激光元件1较大地变动，所以产生准直透镜6从调心位置偏移这个问题。

专利文献1:日本特开2004－200634号公报

专利文献2:日本专利第3423723号公报

发明内容

本发明是鉴于这样的以往技术的问题点而完成的，第1目的在于提供一种能够降低固定准直透镜的树脂的收缩、膨胀带来的影响，并使准直透镜保持高精度地调心的状态的半导体激光模块。

另外，本发明的第2目的在于提供一种能够一边进行准直透镜的主动调心，一边以高精度对半导体激光元件固定准直透镜的半导体激光模块的制造方法。