[实用新型]一种菲林多层板层偏检查装置有效
| 申请号： | 201420873047.4 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN204439771U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 温二黑;李愈伟;李剑;蔡汉成;周雷 | 申请（专利权）人： | 东莞市合鼎电路有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02 |
| 代理公司： | 广东莞信律师事务所 44332 | 代理人： | 余伦 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多层 板层偏 检查 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种菲林多层板层偏检查装置，其特征在于：包括同心圆检测结构及X射线检测系统，所述同心圆检测结构为在内层菲林的四个板角处设有同心圆检测环，第二层同心圆检测环直径为3.175mm，第三层同心圆检测环直径为3.275mm，第四层同心圆检测环直径为3.375mm，第五层同心圆检测环直径为3.475mm，第六层同心圆检测环直径为3.575mm；所述X射线检测系统包括X-RAY检查机，所述X-RAY检查机连接在一机械手端部，所述机械手端为六自由度的机械手，所述X-RAY检查机与菲林多层板的检查角度为15度～90度，所述X-RAY检查机的成像分辨率为0.25微米。
2.根据权利要求1所述的菲林多层板层偏检查装置，其特征在于：所述多层板为10层板，第七层同心圆检测环直径为3.675mm，第八层同心圆检测环直径为3.775mm，第九层同心圆检测环直径为3.875mm，第十层同心圆检测环直径为3.975mm。
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