[实用新型]一种抛光用底座以及采用此底座的数控机床

说明书

技术领域

本实用新型涉及抛光装置领域，特别地，涉及一种抛光用底座及使用此底座的数控机床。

背景技术

人工生长的蓝宝石具有很好的耐磨性，硬度仅次于金刚石达到莫氏9级，同时蓝宝石致密性使其具有较大的表面张力，上述两个特性十分适用于手机、钟表等电子触摸面板。

为了满足蓝宝石光学器件发展的要求，获得高平整的表面，须对蓝宝石进行化学机械抛光(CMP)；CMP是目前唯一能获得全局平面化效果的平整化技术，对蓝宝石晶体表面达到超光滑起到至关重要的作用。

CMP技术是机械磨削和化学腐蚀的组合技术，它借助超微粒子的抛光作用以及浆料的化学腐蚀作用，实现全局平面化超光滑纳米级无损伤精密抛光；CMP的基本方法是将晶片在抛光液中，相对于抛光垫旋转，并施加一定的压力，借助机械摩擦及化学腐蚀作用来完成抛光。

用于触摸面板的蓝宝石，表面质量要求相对更高，目前对以蓝宝石为材料的触摸面板的抛光处理，均采用常规的抛光方法，即将待加工产品固定在底座上进行加工，首先待加工产品固定时会对产品造成一定的损坏，其次，底座不可动，仅仅通过抛光部件的上下移动实现抛光，效果不佳。

因此，设计一种结构精简且加工效果好的抛光装置具有重要的意义。

实用新型内容

本实用新型的第一目的在于提供一种结构精简且可上下调节的抛光用底座，具体技术方案如下：

一种抛光用底座，包括底座组件以及上表面水平设置的底板；

所述底座组件包括支撑板以及设置在其上表面上的底座部件，所述底座部件的上表面上设有与待加工产品尺寸相匹配的产品型腔，所述产品型腔的内部底面上设有与外界抽真空装置连通的第一通孔；

所述支撑板通过能使其进行上下方向移动的调节组件设置在所述底板的正上方且与其平行设置；所述调节组件包括长度方向均沿竖直方向设置的弹性部件以及导向部件，所述弹性部件的下端设置在所述底板上，其上端设置在所述支撑板的下表面上；所述导向部件的下端设置在所述底板的上表面上，其上端贯穿所述支撑板设置。

以上技术方案中优选的，所述底板的上表面为长方形结构；所述弹性部件包括4组弹性单件，4组所述弹性单件到所述底板上表面沿其宽度方向的对称轴线的距离均相同，4组所述 弹性单件到所述底板沿其长度方向的对称轴线的距离均相同；所述导向部件包括4组导向单件，4组所述导向单件到所述底板上表面沿其宽度方向的对称轴线的距离均相同，4组所述导向单件到所述底板沿其长度方向的对称轴线的距离均相同。

以上技术方案中优选的，所述弹性单件为弹簧；所述导向单件为导向柱。

以上技术方案中优选的，所述支撑板的上表面上设有第一凹槽，所述底座部件的下端固定在所述第一凹槽内；所述底座部件的上表面上设有第二凹槽，所述产品型腔设置在所述第二凹槽的内部底面上。

以上技术方案中优选的，所述第一通孔设置在所述产品型腔内部底面的中心部位，其在所述产品型腔内部底面上的形状为圆形、椭圆形或者方形，其在所述产品型腔内部底面上的面积为所述产品型腔内部底面的面积的0.2-0.4倍。

以上技术方案中优选的，所述底座部件的材质为环氧树脂、电木或者铝合金。

应用本实用新型的抛光底座，具有以下有益效果：

(1)本实用新型的抛光用底座包括底座组件以及上表面水平设置的底板，底座组件包括支撑板以及底座部件，底座部件上设有产品型腔，支撑板通过能使其进行上下方向移动的调节组件设置在所述底板的正上方，整体结构精简；支撑板通过能使其进行上下方向移动的调节组件设置在所述底板的正上方，可以实现抛光底座中支撑板和底座部件的整体上下移动，满足不同的加工需求且加工效果好，实用性强；产品型腔的内部底面上设有与外界抽真空装置连通的第一通孔，通过抽真空的方式对待加工产品进行固定，不会对待加工产品造成任意损坏，产品质量高。

(2)本实用新型中弹性部件和导向部件的结构以及位置设置，使得抛光底座中支撑板和底座部件的整体上下移动的稳定性好，进一步提高加工效果；弹性单件选用弹簧，导向单件选用导向柱，部件容易获得，且能满足现实的需求，实用性强。

(3)本实用新型中支撑板上设置第一凹槽，便于将底座部件进行固定；底座部件上设有第二凹槽，便于待加工产品进行加工时其周围留有足够的空间，不影响其加工。

(4)本实用新型中第一通孔的位置、形状以及其大小的设计，使得待加工产品能够完全被真空吸住，稳定性好，且也便于第一通孔的加工。