[实用新型]蓝宝石衬底研磨装置有效
| 申请号： | 201420802877.8 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN204413835U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 黄根友 | 申请（专利权）人： | 无锡科诺达电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/11;B24B29/02;B24B37/34 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 刘述生 |
| 地址： | 214151 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 研磨 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蓝宝石衬底研磨装置，其特征在于，包括：加工平台，所述加工平台上依次设置有加压圆盘、研磨圆盘和抛光圆盘，所述加压圆盘的表面上连接腊盒，所述腊盒的表面均布有出腊孔，所述研磨圆盘上方连接有一冷却液槽，所述抛光圆盘表面设置有聚氨酯板。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底研磨装置，其特征在于，所述加压圆盘、研磨圆盘和抛光圆盘的轴线相互平行设置。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底研磨装置，其特征在于，所述加压圆盘上还连接有一加热器。
4.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底研磨装置，其特征在于，所述冷却液槽的开口向下设置，所述冷却液槽的开口上卡接有一拉板。
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