[实用新型]一种扫描频域干涉仪有效
| 申请号： | 201420658724.0 | 申请日： | 2014-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN204188637U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 谷渝秋;范伟;吴玉迟;朱斌;董克攻;税敏;韩丹 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01P3/36 | 分类号： | G01P3/36;G01N3/06 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明 |
| 地址： | 621999 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 干涉仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种扫描频域干涉仪，其特征在于，所述的干涉仪包括：宽带脉冲、脉冲展宽器、部分反射镜、分束片、被测样品、平面反射镜、光谱仪和条纹相机；所述的干涉仪光束的传输过程是，一束宽带脉冲（1）首先通过脉冲展宽器（2），然后依次垂直入射到部分反射镜Ⅰ（3）和部分反射镜Ⅱ（4）上，其中，部分反射镜Ⅰ（3）的反射光沿原路返回，透射光则垂直入射到部分反射镜Ⅱ（4）上，部分反射镜Ⅱ（4）的反射光在两块部分反射镜构成的光学振荡腔内振荡传输，透射光则在传播通过分束片（6）时分为两束脉冲即透射脉冲和反射脉冲，透射脉冲和反射脉冲分别垂直入射到平面反射镜（7）上和被测样品（5）表面，被垂直反射后，两束脉冲第二次通过分束片（6）时实现同轴合束，然后依次进入光谱仪（8）和条纹相机（9）。
2.根据权利要求1所述的扫描频域干涉仪，其特征在于，所述的宽带脉冲为飞秒激光脉冲或超连续脉冲，脉冲带宽大于10 nm。
3.根据权利要求1所述的扫描频域干涉仪，其特征在于，所述的脉冲展宽器为光栅展宽器或色散玻璃。
4.根据权利要求1所述的扫描频域干涉仪，其特征在于，所述的部分反射镜Ⅰ（3）、部分反射镜Ⅱ（4）的反射率和透射率分别为90%，10%。
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