[实用新型]硅片的连接结构

说明书

技术领域

    本实用新型涉及硅片清洗工装领域，具体为一种硅片的连接结构。

背景技术

硅片清洗是硅棒在经过切割机切割后，将切割好的硅片与连接件一起运至清洗工位上进行清洗，现有一般采用硅棒夹具，其配置有传动机构及输送架，一旦生产流水线上需要多个硅片输送时，则对匹配输送架的数量要求高，相对来说增加了成本。

发明内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种硅片的连接结构，其结构简单，能可靠固定住硅片连接件便于清洗，针对多个硅片输送时，无需增设输送架。

其技术方案是这样的，其包括硅片连接件，硅片粘连于所述硅片连接件上，其特征在于：其还包括螺柱，所述螺柱的一端设置有耳环，所述硅片连接件的轴部设置螺纹孔，所述螺柱的螺纹端连接于所述硅片连接件的轴部螺纹孔。

本实用新型的有益效果在于：螺柱的一端设置有耳环，硅片连接件的轴部设置螺纹孔，螺柱的螺纹端连接于硅片连接件的轴部螺纹孔。这样在运送硅片时，只要将螺柱拧入硅片连接件，将螺柱一端部的耳环套在输送机构上，即可很方便地进行运送，不需要配设更多的输送架等设备，成本相对降低。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

见图1，本实用新型硅片1粘连于硅片连接件2上，硅片连接件2的轴部设置螺纹孔3，其还包括螺柱4，螺柱4的一端设置有耳环5，螺柱4的螺纹端可旋接于硅片连接件2的轴部螺纹孔3。