[实用新型]一种多功能综合检测网版有效
| 申请号： | 201420620998.0 | 申请日： | 2014-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN204243006U | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 孙国成 | 申请（专利权）人： | 无锡帝科电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 李德溅;夏平 |
| 地址： | 214203 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 综合 检测 | ||
1.一种多功能综合检测网版，包括网版本体（1），其特征在于：所述的网版本体（1）上设有隔断电极（2）、触角电极（3）、等宽方形电极（4）、不等宽方形电极（5）和圆形电极（6），隔断电极（2）纵向呈三列设置将网版本体（1）分割为两块区域，其中一块区域用于设置多组触角电极（3），另一块区域用于设置等宽方形电极（4）、不等宽方形电极（5）和圆形电极（6）。
2.根据权利要求1所述的多功能综合检测网版，其特征在于：所述隔断电极（2）的电极间距为0.25mm～3mm。
3.根据权利要求1所述的多功能综合检测网版，其特征在于：多组触角电极（3）分别由长度相同、宽度不同的栅线（7）及栅线（7）两端的触角（8）构成。
4.根据权利要求3所述的多功能综合检测网版，其特征在于：所述栅线（7）的宽度范围为0.030mm～0.080mm。
5.根据权利要求1所述的多功能综合检测网版，其特征在于：所述等宽方形电极（4）的四角和等宽方形电极（4）的对角线交叉点处皆设置了直径相同的圆形测试点（9）。
6.根据权利要求1所述的多功能综合检测网版，其特征在于：所述的不等宽方形电极（5）呈回字形设置，且不等宽方形电极（5）的栅线（7）的宽度范围为0.030mm～0.050mm。
7.根据权利要求1所述的多功能综合检测网版，其特征在于：所述的圆形电极（6）呈环形设置，且圆形电极（6）的栅线（7）的宽度范围为0.030mm～0.050mm。
8.根据权利要求7所述的多功能综合检测网版，其特征在于：所述圆形电极（6）的栅线（7）的宽度由内至外依次扩大。
9.根据权利要求1所述的多功能综合检测网版，其特征在于：所述的等宽方形电极（4）、不等宽方形电极（5）和圆形电极（6）呈纵向由上至下依次排列在隔断电极（2）构成的区域内。
10.根据权利要求1所述的多功能综合检测网版，其特征在于所述的网版本体（1）采用不锈钢轧压网布和曝光胶制成。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
