[实用新型]大口径非球面机器人行星抛光装置

说明书

技术领域

本实用新型属于光学加工制造领域，是一种应用于机器人抛光的末端装置，该装置适用于大口径非球面元件的精密抛光。

背景技术

在现代光学系统的实际应用中需要大量非球面光学元件，特别是具备大口径和高精度特点的元件，而光学制造产业还不具备足够的产能来满足需求。计算机控制表面成形技术与传统光学加工技术相比，可以大大提高加工效率，是解决这一问题的重要方法，因而成为了非球面光学元件制造加工的主要技术支持。小磨头抛光技术是应用最广泛的CCOS(计算机控制光学表面成型)技术，其抛光精度高，但缺点是抛光效率低。因此改善抛光工具，对于抛光技术是至关重要的关键环节。抛光装置通常需要实现的功能包括以下三项：行星运动，偏心调节，可控压力的恒定加压。其中行星运动是基本形式，通过抛光盘与光学元件之间的高速旋转来实现抛光，而去除函数中心去除量最大化则需要实现公转运动，同时具备调节公转与自转转速比的能力，以应对不同的加工需求；恒定加压是前提条件，根据去除函数数学模型建立的条件，需要维持施加在抛光盘上压力的恒定，来保证去除函数的准确，进而获得确定性的材料去除量；偏心调节是必要补充，当加工的工件或者工艺需要改变时，抛光盘的尺寸有可能发生变化，而偏心距也需要随之进行调整。用于大口径非球面机器人行星抛光装置其主要构成有行星装置、偏心平衡调节装置和气动加压装置。现有的抛光装置主要存在由于自身结构造成的转速较低、偏心距受到离心力的影响而调节范围受限、压力控制精度不足、加工效率低等问题。

发明内容

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种大口径非球面机器人行星抛光装置，该装置能够大幅提高抛光效率和抛光质量。

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：一种大口径非球面机器人行星抛光装置，包括公转传动机构、自转传动机构、抛光轴组件，该行星抛光装置还包括平衡配重偏心调节装置；

所述抛光轴组件包括低摩擦气缸和母旋转式滚珠花键，所述母旋转式滚珠花键设有花键轴和与其滑动连接的花键母，所述低摩擦气缸的活塞杆通过一个过渡接头和一个旋转接头与所述花键轴连接，所述花键轴作为抛光轴使用，所述过渡接头固接在所述低摩擦气缸的活塞杆下端，所述旋转接头转动连接在所述过渡接头的下端，所述花键轴上固接有带轮，所述花键母固定在支撑板上；

所述公转传动机构包括壳体，在所述壳体上固装有公转减速器，在所述公转减速器上固装有公转电机，所述公转电机驱动所述公转减速器，在所述公转减速器的输出轴上安装有驱动法兰，所述驱动法兰固定在燕尾槽上，在所述燕尾槽的下面设有与其滑动连接的燕尾块，在所述燕尾块的下表面上固定有下法兰，所述下法兰通过轴承驱动所述支撑板运动，所述支撑板固定在二维交叉滚动导轨上；所述二维交叉滚动导轨包括与所述支撑板固接的纵向导轨及其滑块和与所述壳体固接的横向导轨及其滑块；

所述二维交叉滚动导轨包括与所述支撑板固接的纵向导轨、纵向滑块、与所述纵向滑块固接的横向滑块和与所述壳体固接的横向导轨；

所述自转传动机构包括固定在所述壳体上的自转电机，所述自转电机通过二级带传动机构与所述带轮连接；

所述平衡配重偏心调节装置包括调节丝杠，所述调节丝杠设有左螺纹段和右螺纹段，所述燕尾槽通过调节螺母连接在所述左螺纹段上，所述调节螺母固定在所述燕尾槽上，所述配重块通过螺纹连接在所述右螺纹段上，所述右螺纹段上的螺距是所述左螺纹段上螺距的两倍；所述调节丝杠与所述燕尾块轴向固定周向转动连接，所述配重块和所述下法兰分设在所述公转电机的轴线两侧；所述调节丝杠与旋柄通过齿槽结构连接，所述旋柄连接在壳体上，在所述旋柄的外端设有旋钮，在所述旋钮和所述壳体之间夹压有复位弹簧。

所述低摩擦气缸的活塞杆、所述过渡接头、所述旋转接头和所述花键轴均设有相互贯通的中空结构，相互贯通的所述中空结构形成抛光液注入通道。