[实用新型]一种多级式气体输送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气体供应装置，尤其是一种多级式气体输送装置。

背景技术

在各种工业生产现场，气体输送系统被广泛应用。中国发明专利申请CN 103629084A公开了一种多级气体输送装置，简化了使用真空泵进行气体传输的结构。但是，使用这种结构传输气体时，气体的压力和流速会随着真空泵的运转产生周期性的变化，这就给多种气体混合时的精度控制带来的困难。现有的解决方式是采用复杂的自动化仪表和控制装置对气体流量进行实时调节，结构复杂，造价高。

实用新型内容                             

本实用新型要解决的技术问题是提供一种多级式气体输送装置，能够解决现有技术的不足，在保证气体混合精度的前提下简化了相关的调节结构。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案如下。

一种多级式气体输送装置，包括输送主气体的罗茨泵和存放掺杂气体的钢瓶，罗茨泵连接有输气管路，所述罗茨泵的第一出气管路与钢瓶的第二出气管路平行设置，第一出气管路和第二出气管路之间设置有直线形的液压回路，液压回路包括串联连接的第一油缸和第二油缸，第一油缸的内径大于第二油缸的内径，第一出气管路的侧壁设置有柔性囊膜，柔性囊膜连接有第一活塞，第一活塞位于第一油缸内，第二出气管路的侧壁设置有中空限流柱，中空限流柱通过密封圈与第二出气管路活动相接，中空限流柱内活动设置有第二活塞，第二活塞与中空限流柱的内壁密封接触，第二活塞的另一端同时位于第二油缸内，中空限流柱与第二活塞之间设置有复位弹簧。

作为优选，所述第一出气管路和第二出气管路上分别设置有第一缓冲腔和第二缓冲腔，第一缓冲腔和第二缓冲腔之间倾斜设置有旁路管，旁路管内滑动设置有平衡柱，平衡柱与旁路管内壁密封接触，旁路管与第一缓冲腔的接口低于旁路管与第二缓冲腔的接口，第一缓冲腔和第二缓冲腔位于液压回路的下游侧。

作为优选，所述第一出气管路和第二出气管路的末端与混合管路相连，第一出气管路和第二出气管路分别与混合管路之间至少设置有两个出气口，第一出气管路和第二出气管路的出气口数量相等，第一出气管路和第二出气管路上对应的出气口平行设置，出气口与混合管路的接口处设置有与出气口相垂直的折流板。

采用上述技术方案所带来的有益效果在于：本实用新型在罗茨泵的第一出气管路与钢瓶的第二出气管路之间设置了与气压随动的液压回路，当罗茨泵进行气体输送时，气体压力的变化被直接反映在液压回路上，通过第一活塞、第二活塞和中空限流柱传递至第二出气管路内。由于气压与流速具有直接的关系，所以通过对第一出气管路内气压的随动跟踪，可以实现第一出气管路和第二出气管路气压气流变化的同步性。第二活塞与中空限流柱之间的相对位移变化可以对气压变化趋势进行预补偿，减小气压随动过程中的振荡时间。第一缓冲腔和第二缓冲腔用来对随动调整后的气体进行压力变化的缓冲处理，可以提高出气的平顺性。平衡柱在两端气压作用下处于动态平衡状态，可以提高缓冲效果。混合管路采用多支路分步混合的方式，避免了单次大流量混合导致的混合不均匀的问题。折流板可以提高两种气体混合时的接触面积，进一步提高混合效果。

附图说明

图1是本实用新型一个具体实施方式的示意图。

图中：1、罗茨泵；2、钢瓶；3、输气管路；4、第一出气管路；5、第二出气管路；6、第一油缸；7、第二油缸；8、柔性囊膜；9、第一活塞；10、中空限流柱；11、密封圈；12、第二活塞；13、复位弹簧；14、第一缓冲腔；15、第二缓冲腔；16、旁路管；17、平衡柱；18、混合管路；19、出气口；20、折流板；21、流量表；22、针阀；23、紊流板。

具体实施方式

本实用新型中使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接、粘贴等常规手段，在此不再详述。