[实用新型]一种多级式气体输送装置

权利要求书

1.一种多级式气体输送装置，包括输送主气体的罗茨泵（1）和存放掺杂气体的钢瓶（2），罗茨泵（1）连接有输气管路（3），其特征在于：所述罗茨泵（1）的第一出气管路（4）与钢瓶（2）的第二出气管路（5）平行设置，第一出气管路（4）和第二出气管路（5）之间设置有直线形的液压回路，液压回路包括串联连接的第一油缸（6）和第二油缸（7），第一油缸（6）的内径大于第二油缸（7）的内径，第一出气管路（4）的侧壁设置有柔性囊膜（8），柔性囊膜（8）连接有第一活塞（9），第一活塞（9）位于第一油缸（6）内，第二出气管路（5）的侧壁设置有中空限流柱（10），中空限流柱（10）通过密封圈（11）与第二出气管路（5）活动相接，中空限流柱（10）内活动设置有第二活塞（12），第二活塞（12）与中空限流柱（10）的内壁密封接触，第二活塞（12）的另一端同时位于第二油缸（7）内，中空限流柱（10）与第二活塞（12）之间设置有复位弹簧（13）。

2.根据权利要求1所述的多级式气体输送装置，其特征在于：所述第一出气管路（4）和第二出气管路（5）上分别设置有第一缓冲腔（14）和第二缓冲腔（15），第一缓冲腔（14）和第二缓冲腔（15）之间倾斜设置有旁路管（16），旁路管（16）内滑动设置有平衡柱（17），平衡柱（17）与旁路管（16）内壁密封接触，旁路管（16）与第一缓冲腔（14）的接口低于旁路管（16）与第二缓冲腔（15）的接口，第一缓冲腔（14）和第二缓冲腔（15）位于液压回路的下游侧。

3.根据权利要求1所述的多级式气体输送装置，其特征在于：所述第一出气管路（4）和第二出气管路（5）的末端与混合管路（18）相连，第一出气管路（4）和第二出气管路（5）分别与混合管路（18）之间至少设置有两个出气口（19），第一出气管路（4）和第二出气管路（5）的出气口（19）数量相等，第一出气管路（4）和第二出气管路（5）上对应的出气口（19）平行设置，出气口（19）与混合管路（18）的接口处设置有与出气口（19）相垂直的折流板（20）。