[实用新型]具有贴标签功能的下膜机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种下膜机，特别是涉及一种可以在膜片上贴设标签，并且将装载有晶圆的膜片自载板上卸下的具有贴标签功能的下膜机。

背景技术

现有晶圆在加工的过程中，为了保护晶圆同时方便辨识，通常会在一片载板上黏贴一片膜片，再将该晶圆摆放在该载板的一个承载孔内，该晶圆暂时的黏贴在该膜片上。然后利用一台下膜机将黏贴有膜片的晶圆一起自该载板上卸除，为了方便后续加工的辨识，在该晶圆移送的后续制程中，再利用一台标签印制机印制具有晶圆的批次及批号的标签，并且将该标签黏贴在下膜后的膜片上。

现有晶圆在加工的过程中，虽然可以通过黏贴在该膜片上的标签，而达到方便辨识产品批号的目的，但是现有晶圆在加工时，有时会因为机械故障、控制机构当机等因素而暂停作业，此时工作人员需要停机维修，而输送中的晶圆也会停留在机器的各个部位。当下膜机恢复作业时，由于原本机器的设定值会错乱，需要重新设定，但该下膜机仍有一些因为机械故障而停放在机台上的晶圆，因此，当该下膜机恢复作业时，持续印制的标签往往无法正确黏贴在对应该晶圆批号的膜片上，造成标示的错误，以及辨别的困难。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种可以提高标示正确性的具有贴标签功能的下膜机。

本实用新型的下膜机可在该膜片上贴设至少一张标签，并且将装载有一片晶圆的膜片自一个载板上卸下，该下膜机包含：一个作业平台、一个可将该晶圆及该膜片自该载板上卸下的下膜单元，以及一个贴标签机构。该作业平台包括一个起始区域、一个下膜区域，以及一个介于该起始区域及该下膜区域间的标签贴孔，而装载该晶圆及该膜片的载板由该起始区域被往该下膜区域移送，该贴标签机构包括一个标签印制器，以及一个将所印制的标签经由该作业平台的标签贴孔贴设在该膜片上的贴标签单元。

本实用新型所述的下膜机，该贴标签单元具有一个滑轨、一个安装在该滑轨上的旋转座、一个驱动该旋转座移动的驱动件、一个安装在该旋转座上的顶撑压缸，以及一个受到该顶撑压缸驱动而可将该标签贴设在该膜片上的标签贴座。

本实用新型所述的下膜机，还包含一个用来夹持该载板沿着一个第一方向前进的夹具，该第一方向是由该作业平台的起始区域往该下膜区域移动，而该贴标签单元的驱动件带动该旋转座沿着一个第二方向移动，该第二方向垂直于该第一方向。

本实用新型所述的下膜机，该贴标签机构还包括一个位在该作业平台下方的基架，该基架具有一个供该贴标签单元的滑轨安装的底板、一个供该标签印制器安装的顶板，以及数支顶撑在该底板及该顶板间的撑杆。

本实用新型所述的下膜机，该作业平台的标签贴孔邻近该起始区域。

本实用新型所述的下膜机，该载板沿着一个第一方向移送，而该贴标签单元带动该标签沿着一个垂直于该第一方向的第二方向移送，并使该标签位在该作业平台的标签贴孔的正下方。

本实用新型有益效果在于：由于该贴标签机构所产生的标签可以在下膜之前迅速且正确地黏贴在该膜片上，故本实用新型可以在晶圆刚送进该下膜机时，就在承载该晶圆的膜片上黏贴该标签，通过前述结构来提高黏贴标签时的正确性。

附图说明

图1是本实用新型下膜机的一个实施例的立体示意图；

图2是该实施例的一个前视示意图，图中该下膜机的一个贴标签机构位在一个取签位置；

图3是一个类似图2的前视示意图，图中该贴标签机构位在一个横移位置；

图4是一个类似图2的前视示意图，图中该贴标签机构位在一个贴签位置；

图5是该较佳实施例的一个局部侧视示意图，说明在该贴签位置时，该贴标签机构与一个加工组件的对应关系。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

参阅图1、2，本实用新型下膜机的一个实施例可以在一个加工组件1上贴设至少一张标签10，并且进行下膜的操作，该加工组件1包括一片具有一个承载孔111的载板11、一片黏贴在该载板11的底面的膜片12，以及一个暂时的黏贴在该膜片12上并对应该载板11的承载孔111的晶圆13，为了方便辨识，该载板11通常贴设有一张条形码112，而该下膜机可以读取该条形码112，并且将读取的数据印制成该标签10，同时将该标签10贴设在该加工组件1的膜片12下方。