[实用新型]一种激光剥离设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及柔性显示技术领域的制造设备，尤其涉及一种激光剥离设备。

背景技术

柔性显示技术在近几年有了飞速的发展，由此带动柔性显示器从屏幕的尺寸到显示的质量都取得了很大进步。无论是濒临消失的阴极射线管(Cathode Ray Tube，简称CRT)，还是现今主流的液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)，本质上都属于传统的刚性显示器。与传统的刚性显示器相比，柔性显示器具有诸多优点，例如耐冲击，抗震能力强，重量轻，体积小，携带更加方便等。

目前，以柔性OLED显示器为例，其制备方法一般采用如下过程，即：在硬质基板上形成柔性衬底基板，在柔性衬底基板上制备OLED显示元件，之后再采用激光照射扫描方法将柔性衬底基板和硬质基板剥离，得到柔性OLED显示器。

其中，采用激光照射扫描方法将柔性衬底基板和硬质基板剥离，需要将硬质基板和位于所述硬质基板上的柔性OLED显示器整体翻转，使硬质基板朝上，激光从上面扫描并照射到硬质基板，并聚焦在硬质基板和柔性衬底基板的接触面，从而破坏该接触面的附着力，然后采用机械分离方式将柔性衬底基板和硬质基板剥离。但是，在此过程中，一方面，在翻转后势必使得柔性OLED显示器位于下方，会直接接触激光剥离设备的载台，因而会由于载台的设计、材料等因素对柔性OLED显示器造成损伤；另一方面，经过激光照射后，柔性衬底基板和硬质基板的附着力已经很弱了，在搬运至下一个工序以进行机械分离时，柔性OLED显示器很容易从硬质基板上脱落而影响其良率。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种激光剥离设备，一方面，可避免由于载台的设计、材料等因素对柔性显示基板造成损伤，另一方面，可避免柔性显示基板脱落而影响其良率。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

提供一种激光剥离设备，包括：机架、设置于所述机架上方的激光器和设置于所述机架下方的载台；所述激光剥离设备还包括：设置于所述载台上的支撑机构，所述支撑机构用于承载柔性显示基板母板；其中，所述支撑机构与所述载台采用可拆卸方式固定；所述柔性显示基板母板包括承载基板和设置于所述承载基板上的柔性显示基板；所述柔性显示基板与所述支撑机构接触。

可选的，所述支撑机构包括底面，所述底面包括多个第一真空孔，所述第一真空孔贯穿所述底面；所述载台包括与所述多个第一真空孔一一对应的多个第二真空孔。

进一步可选的，所述第一真空孔的直径小于1mm。

可选的，所述支撑机构还包括与所述底面连接的两个相对侧面。

进一步可选的，所述支撑机构还包括用于调节所述两个相对侧面与所述底面夹角的调节装置。

可选的，所述底面包括第一底面和第二底面，所述第二底面包括第一部分和第二部分，且所述两个相对侧面分别与所述第一部分和所述第二部分连接；

所述第一底面上设置有导轨，所述第二底面的所述第一部分和所述第二部分通过滑块与所述第一底面连接；其中，所述导轨和所述滑块相匹配。

进一步可选的，在所述第二底面的所述第一部分和所述第二部分之间具有间距的情况下，所述支撑机构还包括设置在所述第一部分和所述第二部分之间的拼接板；其中，所述拼接板与所述第一部分和所述第二部分均接触，且所述拼接板的上表面与所述第一部分和所述第二部分的上表面在同一平面。

可选的，所述第一部分和所述第二部分的面积相等。

可选的，所述导轨设置在所述第一底面的边缘，且所述导轨的与所述第一底面垂直的侧面上设置有多个第一小孔；所述滑块与所述第一底面垂直的侧面上设置有与所述多个第一小孔一一对应的多个第二小孔。

本实用新型实施例提供了一种激光剥离设备，包括：机架、设置于所述机架上方的激光器和设置于所述机架下方的载台；所述激光剥离设备还包括：设置于所述载台上的支撑机构，所述支撑机构用于承载柔性显示基板母板。其中，所述支撑机构与所述载台采用可拆卸方式固定；所述柔性显示基板母板包括承载基板和设置于所述承载基板上的柔性显示基板；所述柔性显示基板与所述支撑机构接触。