[实用新型]一种空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统

权利要求书

1.一种空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：包括脉冲激光器(13)，激光束变换聚焦光学系统(23)，位移台(18)，激光诱导等离子体信号采集装置(19)，光谱仪(20)，计算机(21)；所述脉冲激光器(13)所发出的激光信号经激光束变换聚焦光学系统(23)后到达位移台(18)上方，光谱仪(20)分别与脉冲激光器(13)、激光诱导等离子体信号采集装置(19)、计算机(21)连接；所述激光束变换聚焦光学系统(23)包括聚焦光组(17)；所述激光诱导等离子体信号采集装置(19)包括夹持器和光纤探针；所述夹持器包括弧形导轨(1)、滑块(5)和套筒(6)，弧形导轨(1)上至少有一个滑块(5)，滑块(5)可在弧形导轨(1)上滑动，滑块(5)中央有孔；套筒(6)穿过滑块(5)中央的孔，可沿弧形导轨(1)的径向移动；所述套筒(6)有圆孔(9)，光纤探针固定在套筒(6)的圆孔(9)中；所述光纤探针包括准直透镜(7)和光纤(8)，准真透镜(7)固定在套筒(6)内，光纤(8)入口端面位于准直透镜(7)的焦点处；通过在弧形导轨(3)上滑动滑块(5)改变光纤探针的空间角度，通过移动滑块(5)中的套筒(6)改变光纤探针与激光诱导等离子体的距离。

2.根据权利要求1所述的空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：所述脉冲激光器通过触发延时单元(22)与光谱仪(20)相连。

3.根据权利要求2所述的空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：所述触发延时单元为脉冲延时器(15)。

4.根据权利要求2所述的空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：所述触发延时单元包括光电管(14)和脉冲延时器(15)，脉冲激光器(13)经光电管(14)与脉冲延时器(15)连接。

5.根据权利要求1或2所述的空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：所述激光束变换聚焦光学系统(23)，在所述聚焦光组(17)前有反射光组(16)。

6.根据权利要求1或2所述的空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：所述夹持器的弧形导轨(1)上设置有若干个滑块(5)，滑块(5)内均安装有套筒(6)，套筒(6)内安装有光纤探针，实现不同位置处多个光纤探针收集信号的角度及其与激光诱导等离子体激发位置的距离独立调节。

7.根据权利要求1或2所述的空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：所述夹持器的弧形导轨(1)包含底座(2)、导轨主体(3)和挡块(4)，导轨主体(3)安装在底座(2)上，导轨主体(3)与底座(2)的连接处有一段竖直柱，导轨主体(3)末端有挡块(4)。

8.根据权利要求1或2所述的空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：所述夹持器的套筒(6)，整体呈方形，套筒(6)中间部分开有方槽(11)，方槽(11)的宽度与套筒圆孔(9)的直径相同。

9.根据权利要求1或2所述的空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：所述光纤探针的光纤(8)为阶跃光纤，准直透镜(7)和光纤(8)之间有机械接口连接。