[实用新型]一种掩模版存储盒纯化器拆装装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，特别涉及一种掩模版存储盒纯化器拆装装置。

背景技术

在半导体制造领域中，掩膜版(MASK)是曝光过程中的原始图形的载体，通过曝光过程，原始图形的信息将被传递到芯片上。

掩膜版通常被存储在一个掩膜版存储盒(RSP)中，为了提高存储盒(RSP)内部环境，存储盒(RSP)中还放置了纯化器(Purifier)，在更换掩膜版存储盒、清洗掩膜版存储盒或重新组装掩膜版存储盒时及交换纯化器(Purifier)时，都需要拆卸和安装掩膜版存储盒纯化器的固定盖板。在现有技术中，通常都是工作人员用手去旋转底部的固定盖板来完成拆卸和安装。但是，由于底部的固定盖板是通过旋转的卡槽来固定，为放置松脱掉落，卡槽本身设计就很紧密，徒手完成拆卸和安装固定盖板相当费力，若拆卸和安装多次，可能给工作人员的手部造成伤害，引发安全事故。此外，徒手操作也可能出现拆卸和安装不到位的现象，造成内部的掩膜版损坏的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供掩模版存储盒纯化器拆装装置，以解决在拆卸和安装掩膜版存储盒纯化器的固定盖板过程中拆装强度大、拆装困难且不安全的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种掩模版存储盒纯化器拆装装置，包括：旋盖装置，所述旋盖装置上有若干条防滑齿。

进一步的，在所述的掩模版存储盒纯化器拆装装置中，所述旋盖装置的形状为圆形。

进一步的，在所述的掩模版存储盒纯化器拆装装置中，所述旋盖装置上设有锯齿，所述锯齿间形成的凹槽与所述掩模版存储盒纯化器的固定盖板受力点相匹配。

根据掩模版存储盒的固定盖板的结构，采用本实用新型提供的掩模版存储盒纯化器拆装装置大大方便了工作人员的工作，减轻了劳动强度，提高了工作效率，工作人员轻松地就可以将掩模版存储盒纯化器的固定盖板拆装，避免了工作人员人体伤害事故的发生，提高了安全生产性。进一步的，在旋盖装置上设有若干条防滑齿，工作人员在操作时可以充分的用力，有效地防止了安装不到位的问题。进一步的，采用圆形旋盖装置，并在旋盖装置上设有锯齿，且所述锯齿间形成的凹槽与所述掩模版存储盒纯化器的固定盖板受力点相匹配，轻松拆卸和安装固定盖板，避免了内部掩模版损坏的风险及人体受伤害的风险，降低了公司的生产成本。

附图说明

图1-2是本实用新型较佳实施例的掩模版存储盒纯化器拆装装置示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的掩模版存储盒纯化器拆装装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参考图1-2，其是本实用新型实施例的掩模版存储盒纯化器拆装装置的示意图。如图1-2所示，本实用新型提供一种掩模版存储盒纯化器拆装装置，包括：旋盖装置1。工作人员通过旋拧所述旋盖装置1带动存储盒(RSP)纯化器固定盖板，这样大大方便了工作人员的工作，减轻了劳动强度，提高了工作效率，工作人员轻松地就可以将掩模版存储盒纯化器的固定盖板拆装，避免了工作人员人体伤害事故的发生，提高了安全生产性。

在本实用新型另一优选的实施例中，在所述旋盖装置1上设有若干条防滑齿3，也就是人们常见的竖线条，采用这样的防滑结构设计，工作人员在操作时可以充分的用力，有效地防止了安装不到位的问题。

又在本实用新型另一优选的实施例中，所述旋盖装置1的形状为圆形，是一种圆弧结构。充分与所述固定盖板的形状相贴合。

又在本实用新型另一优选的实施例中，所述旋盖装置1在远离防滑齿3的一侧，即与所述固定盖板贴合的一侧设有锯齿4，锯齿4均匀分布，且所述锯齿4间形成的凹槽与所述掩模版存储盒纯化器的固定盖板受力点相匹配。基此，工作人员能够轻松拆卸和安装固定盖板，避免了内部掩模版损坏的风险，降低了公司的生产成本。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。