[实用新型]一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置

权利要求书

1.一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置，所述腔室包括第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与第二腔室之间的腔壁上设置有狭缝，其特征在于，所述阀门装置至少包括：

用于测量所述第一腔室内部压力的第一压力计；

用于测量所述第二腔室内部压力的第二压力计；

用于比较所述第一腔室和第二腔室内部压力是否相等、之后输出控制信号的压力信号处理器，该压力信号处理器的输入端与所述第一压力计和第二压力计相连接的；

用于开启和关闭所述狭缝的阀门，该阀门与所述压力信号处理器的输出端相连接并接收所述压力信号处理器输出的控制信号；当所述第一腔室和第二腔室内部压力相等时，所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的开启的控制信号，从而将阀门打开；当所述第一腔室和第二腔室内部压力不相等时，所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的关闭的控制信号，从而保持阀门关闭。

2.根据权利要求1所述的控制腔室间狭缝开关的阀门装置，其特征在于：所述阀门至少包括结构：

阀门外壳，其内部为空腔，所述空腔被一隔板分为上腔体和下腔体；所述隔板上设置有连通所述上腔体和下腔体的第一孔；所述上腔体的上壁具有与所述第一孔对应第二孔；

电磁体，通过伸缩件与上腔体两侧的内壁相连接；

阀门杆，穿过所述第一孔和第二孔上下移动；所述阀门杆一端位于所述下腔体内、另一端正对于所述狭缝；所述阀门杆上设置有卡持结构；当所述阀门杆密封狭缝时，所述卡持结构处于上腔体中并由所述电磁体卡持固定。

3.根据权利要求1所述的控制腔室间狭缝开关的阀门装置，其特征在于：所述压力信号处理器包括：信号处理单元、主控单元、控制信号输出单元、信号指示灯；

所述信号处理单元的输入端和所述第一压力计、第二压力计相连接；

所述信号处理单元的输出端与所述主控单元的输入端相连接；

所述主控单元的输出端与控制信号输出单元及信号指示灯相连接。

4.根据权利要求2所述的控制腔室间狭缝开关的阀门装置，其特征在于：所述阀门杆正对于狭缝的一端的端面上具有密封所述狭缝的密封圈。

5.根据权利要求4所述的控制腔室间狭缝开关的阀门装置，其特征在于：所述阀门杆呈“工”字形状。

6.根据权利要求2所述的控制腔室间狭缝开关的阀门装置，其特征在于：所述伸缩件为弹簧。

7.根据权利要求2所述的控制腔室间狭缝开关的阀门装置，其特征在于：所述阀门外壳的侧壁上设置有使阀门杆开启或关闭的给气装置。

8.根据权利要求1所述的控制腔室间狭缝开关的阀门装置，其特征在于：所述第一腔室为晶圆传送腔。

9.根据权利要求1所述的控制腔室间狭缝开关的阀门装置，其特征在于：所述第二腔室为工艺腔，所述工艺腔中设置有用于放置待处理晶圆的工艺台。