[实用新型]一种检测键合准确性的测试结构有效
| 申请号： | 201420226934.2 | 申请日： | 2014-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN203824509U | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈福成 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 准确性 测试 结构 | ||
1.一种检测键合准确性的测试结构，其特征在于，所述测试结构至少包括：
制备于第一晶圆上的两个第一金属焊盘以及制备于第二晶圆上的两个第二金属焊盘；
两个所述第二金属焊盘与两个所述第一金属焊盘分别通过所述第一晶圆和所述第二晶圆的键合实现电性连接；
两个所述第一金属焊盘的内侧边平行设置，两所述第二金属焊盘的一部分与两个所述第一金属焊盘分别重叠，另一部分分别超出两个所述第一金属焊盘的内侧边，两个所述第二金属焊盘的相邻一侧分别设有测量点。
2.根据权利要求1所述的检测键合准确性的测试结构，其特征在于：所述第一金属焊盘的面积大于所述第二金属焊盘的面积。
3.根据权利要求1所述的检测键合准确性的测试结构，其特征在于：所述第一金属焊盘和所述第二金属焊盘的材质为铜。
4.根据权利要求1所述的检测键合准确性的测试结构，其特征在于：两个所述第二金属焊盘可以连接在一起，共用一个所述测量点。
5.根据权利要求1所述的检测键合准确性的测试结构，其特征在于：所述第一金属焊盘为正方形结构。
6.根据权利要求1所述的检测键合准确性的测试结构，其特征在于：所述第二金属焊盘为长方形结构。
7.根据权利要求1所述的检测键合准确性的测试结构，其特征在于：所述第一金属焊盘位于上方，所述第二金属焊盘位于下方。
8.根据权利要求1所述的检测键合准确性的测试结构，其特征在于：所述检测键合准确性的测试结构可以横向设置也可以纵向设置。
9.根据权利要求1所述的检测键合准确性的测试结构，其特征在于：所述检测键合准确性的测试结构制备于晶圆的切割道区域内。
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