[实用新型]一种具有真空气压监控功能的FPC板定位曝光装置有效
申请号: | 201420218776.6 | 申请日: | 2014-04-30 |
公开(公告)号: | CN203799178U | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 刘维军;郭宝贵 | 申请(专利权)人: | 遂宁市维海电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人: | 袁英 |
地址: | 629000 四川省遂*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 真空 气压 监控 功能 fpc 定位 曝光 装置 | ||
1.一种具有真空气压监控功能的FPC板定位曝光装置,其特征在于:它包括真空气压监控装置、装载框架(1)、以及依次连接为一体的曝光箱(2)和装载箱(3),曝光箱(2)和装载箱(3)上均设置有用于安装装载框架(1)的水平导轨,曝光箱(2)位于水平导轨的上下两侧均设置有曝光光源(6),所述的装载框架(1)包括上框架(17)和下框架(18),上框架(17)和下框架(18)通过设置于后侧面上的合页(7)连接为一体,上框架(17)的底面上设置有上透光板(8),下框架(18)的顶面上设置有容置上框架(17)的凹槽(9),该凹槽(9)的底面上设置有下透光板(10),所述的下透光板(10)的上表面上设置有四个定位柱(19),底面菲林(20)固定安装于定位柱(19)上,下框架(18)内部设置有抽真空通道,下框架(18)位于上透光板(8)和下透光板(10)之间的部分上设置有抽真空气孔(11),下框架(18)上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头(12),抽真空接头(12)通过抽真空通道与抽真空气孔(11)连通,所述的下框架(18)的左右两侧均设置有水平凸棱(13),下框架(18)的水平凸棱(13)滑动安装于曝光箱(2)和装载箱(3)的水平导轨内,所述的真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器,抽真空接头(12)通过气路与真空泵吸气口相连,气路上设置有控制气路通断的电磁阀,气压传感器安装于下框架(18)的抽真空通道内,气压传感器与控制器的输入端连接,真空泵和电磁阀分别与控制器的输出端连接。
2.根据权利要求1所述的一种具有真空气压监控功能的FPC板定位曝光装置,其特征在于:所述的底面菲林(20)的上方依次叠放有安装于定位柱(19)上的FPC板(21)和顶面菲林(22)。
3.根据权利要求2所述的一种具有真空气压监控功能的FPC板定位曝光装置,其特征在于:所述的定位柱(19)的高度不小于底面菲林(20)、FPC板(21)和顶面菲林(22)的厚度之和。
4.根据权利要求1所述的一种具有真空气压监控功能的FPC板定位曝光装置,其特征在于:所述的上框架(17)的前端面上安装有把手(14)。
5.根据权利要求1所述的一种具有真空气压监控功能的FPC板定位曝光装置,其特征在于:所述的上框架(17)的前端面设置有凸块(15),下框架(18)上设置有与凸块(15)相配合的缺口(16),凸块(15)的前端面与下框架(18)的前端面相平齐,把手(14)安装于凸块(15)的前端面上。
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