[实用新型]硅片脱胶隔板及硅片脱胶工装

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片脱胶领域，特别是涉及一种硅片脱胶隔板及使用上述硅片脱胶隔板的硅片脱胶工装。

背景技术

硅片脱胶隔板在硅片脱胶过程中主要起到防止硅片倾倒产生破裂的作用。而目前使用的硅片脱胶隔板100，如图1所示，顶部带有斜口槽110，在斜口槽110处形成第一开口槽120，侧部带有第二开口槽130。在插入脱胶工装连接杆时先将第二开口槽130一端挂住脱胶工装连接杆，然后将带有斜口槽110的顶部挂入脱胶工装连接杆。由于硅片脱胶隔板的斜口槽110的顶部是从硅片外侧向内挂入，极易因操作不慎使开口槽刮住硅片，造成硅片在脱胶过程中产生缺角、碎片。

实用新型内容

基于此，有必要针对硅片在脱胶过程中易产生缺角、碎片问题，提供一种硅片脱胶隔板以及使用该硅片脱胶隔板的硅片脱胶工装。

一种硅片脱胶隔板，包括主体，所述主体具有相对的第一端部和第二端部，所述第一端部上开设有第一侧面开口槽，所述第一侧面开口槽的顶壁凹陷形成有第一开口槽，所述第二端部上开设有第二侧面开口槽。

在其中一个实施例中，所述第一侧面开口槽的底壁延伸超出所述第一侧面开口槽的顶壁，并形成可供握持的手柄部。

在其中一个实施例中，所述第二侧面开口槽的深度为26mm～59mm。

在其中一个实施例中，所述硅片脱胶隔板的厚度为1.5mm～3mm。

在其中一个实施例中，所述第一侧面开口槽槽底和所述第二侧面开口槽槽底之间的距离为110mm～125mm。

一种硅片脱胶工装，包括硅片底托、第一脱胶工装连接杆、第二脱胶工装连接杆和上述的硅片脱胶隔板，所述第一脱胶工装连接杆和所述第二脱胶工装连接杆平行排列在所述硅片底托两侧，所述硅片脱胶隔板的第二侧面开口槽卡入所述第一脱胶工装连接杆上，所述硅片脱胶隔板的第一开口槽卡入所述第二脱胶工装连接杆上。

在其中一个实施例中，所述第一脱胶工装连接杆和第二脱胶工装连接杆的外侧均包裹着硅胶皮套。

在其中一个实施例中，所述第一侧面开口槽的内径大于所述第一脱胶工装连接杆和所述第二脱胶工装连接杆的外径。

在其中一个实施例中，所述第一开口槽的内径比所述第一脱胶工装连接杆和所述第二脱胶工装连接杆的外径均大0.5mm～1mm，所述第二侧面开口槽的内径比所述第一脱胶工装连接杆和所述第二脱胶工装连接杆的外径均大0.5mm～1mm。

相对于传统的硅片脱胶隔板，上述硅片脱胶隔板的第一侧面开口槽和第二侧面开口槽设置在硅片脱胶隔板的相对的侧面上，硅片脱胶隔板安装至脱胶工装连接杆时，将第一侧面开口槽和第一开口槽插到第二脱胶工装连接杆上的操作是在两个硅片之间完成的，避免及减少员工在传统的插片过程中从硅片外侧挂入第二脱胶工装连接杆上时导致的缺角、碎片问题，提高切割的良品率。

上述硅片脱胶隔板增加了手柄部，操作方便，第一侧面开口槽槽底和第二侧面开口槽槽底之间的距离为110mm～125mm，因此还可用于不同尺寸（比如6寸或8寸）的单、多晶硅片脱胶，降低生产成本。

附图说明

图1为目前使用的硅片脱胶隔板的示意图；

图2为本实用新型实施例中硅片脱胶隔板的示意图；

图3为硅片脱胶工装结构俯视图；

图4为本实用新型的硅片脱胶工装使用状态的示意图；

图5为附图4所示硅片脱胶工装的左视图。

图中：硅片脱胶隔板100，斜口槽110，第一开口槽120，第二开口槽130，硅片脱胶隔板200，第一侧面开口槽210，第一开口槽220，第二侧面开口槽230，手柄部240，硅片脱胶工装300，硅片底托310，第一脱胶工装连接杆320，第二脱胶工装连接杆330，硅片400。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

如图2所示，本实施例中的硅片脱胶隔板200包括主体，主体具有相对的第一端部和第二端部，第一端部上开设有第一侧面开口槽210，第一侧面开口槽210的顶壁凹陷形成有第一开口槽220，第二端部上开设有第二侧面开口槽230。

第一侧面开口槽210的底壁延伸超出第一侧面开口槽210的顶壁，并形成可供握持的手柄部240。

第二侧面开口槽230的长度为26mm～59mm，第一侧面开口槽210槽底与第二侧面开口槽230槽底之间的距离为110mm～125mm，这样隔板与脱胶工装连接杆之间的可前后移动的范围较宽，可以适用于不同规格（比如6寸或8寸）的单、多晶硅片脱胶用。