[实用新型]一种具有中空部结构的探针针盘

权利要求书

1.一种具有中空部结构的探针针盘，包括面板（10）、载板（20）和探针（30），面板（10）设置于载板（20）的上方，其特征在于：所述面板（10）与载板（20）之间设置有支撑柱（40），面板（10）与载板（20）通过支撑柱（40）固定连接，面板（10）与载板（20）之间形成一中空部（50）；探针（30）贯穿设置于所述面板（10）和载板（20），探针（30）顶端的针头（31）伸出于面板（10）的顶端面，探针（30）底端的针尾（32）伸出于载板（20）的底端面，探针（30）的部分针身（36）位于所述中空部（50）。

2.根据权利要求1所述的一种具有中空部结构的探针针盘，其特征在于：所述探针（30）的针身（36）的表面设置有绝缘层（33）。

3.根据权利要求2所述的一种具有中空部结构的探针针盘，其特征在于：所述绝缘层（33）为绝缘漆，绝缘漆喷设于针身（36）的表面。

4.根据权利要求1所述的一种具有中空部结构的探针针盘，其特征在于：所述探针（30）的针身（36）包括钨芯（34）以及钨芯（34）表面镀设的镀金层（35）。

5.根据权利要求1所述的一种具有中空部结构的探针针盘，其特征在于：所述面板（10）包括测试面板（11）和连接于测试面板（11）底部的辅助面板（12），测试面板（11）的厚度D₁为1.3-1.7mm，辅助面板（12）的厚度D₂为1.0-1.4mm。

6.根据权利要求5所述的一种具有中空部结构的探针针盘，其特征在于：所述测试面板（11）的厚度D₁为1.5mm，辅助面板（12）的厚度D₂为1.2mm。

7.根据权利要求5所述的一种具有中空部结构的探针针盘，其特征在于：所述测试面板（11）和辅助面板（12）内均开设有凹槽（60），探针（30）穿设于所述凹槽（60）。

8.根据权利要求1所述的一种具有中空部结构的探针针盘，其特征在于：所述载板（20）包括从上至下依序连接设置的上辅助层（21）、中间辅助层（22）和针盘底板（23），上辅助层（21）的厚度D₃为2-4mm，中间辅助层（22）的厚度D₄为1-2mm，针盘底板（23）的厚度D₅为2-4mm。

9.根据权利要求8所述的一种具有中空部结构的探针针盘，其特征在于：所述上辅助层（21）的厚度D₃为3mm，中间辅助层（22）的厚度D₄为1.5mm，针盘底板（23）的厚度D₅为3mm。

10.根据权利要求8所述的一种具有中空部结构的探针针盘，其特征在于：所述上辅助层（21）、中间辅助层（22）和针盘底板（23）内均开设有凹槽（60），探针（30）穿设于所述凹槽（60）。