[实用新型]具有小角度位移及平行移动的工作平台机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种工作平台，尤其涉及一种工作平台的位移结构。

背景技术

XXY平台，其具有平面移动与XY平面转动的三个自由度，可用于微调平面位置与摆放角度，为精密加工与实验室常见的精密器材之一。

请参阅图1所示，为现有工作平台机构结构图，现有XXY平台，为了可以提供三个方向的自由度，其具有一XY平面转动机构1、一X轴移动机构2与一Y轴移动机构3所叠置组成的，其中该XY平面转动机构1可以自转而提供转动的自由度，而该X轴移动机构2则提供X轴方向移动的自由度，至于该Y轴移动机构3则提供Y轴方向移动的自由度，因此在该XY平面转动机构1、该X轴移动机构2与该Y轴移动机构3叠置之后，即可提供三个方向的自由度，而满足使用上的需求。

然而，在实际结构上，该XY平面转动机构1、该X轴移动机构2与该Y轴移动机构3，在叠加后的厚度相当的可观，且为了避免结构干涉，必须设置相当的空隙，因而难以薄型化且形成笨重并空洞的结构，其在驱动上，精度控制不易且强度不足；换句话说，此现有XXY平台，不但相当的占用体积，且其结构不耐冲击，又驱动的精度容易产生误差，因而难以满足使用上的需求。

实用新型内容

爰此，本实用新型的主要目的在于揭露一种具有小角度位移及平行移动的工作平台机构，以提供一种机构单纯化、准确度高且可耐大冲击的工作平台机构，来满足使用上的需求。

为达上述目的，本实用新型提供一种具有小角度位移及平行移动的工作平台机构，其包含：

一底板；

一第一滑台；

一第二滑台，该第一滑台与该第二滑台同向且能够滑动的设置于该底板上；

一侧向滑台，该侧向滑台横向且能够滑动的设置于该第一滑台上；以及

一工作平台，该工作平台设置于该第一滑台与该第二滑台之间，且该工作平台的两侧分别与该侧向滑台、该第二滑台枢接。

上述的具有小角度位移及平行移动的工作平台机构，其中该工作平台的两侧分别通过一转轴与该侧向滑台、该第二滑台枢接。

上述的具有小角度位移及平行移动的工作平台机构，其中该工作平台的两侧分别设置一凸板，该二转轴分别对应设置于该二凸板上。

上述的具有小角度位移及平行移动的工作平台机构，其中该第一滑台与该第二滑台分别于一第一滑轨与一第二滑轨上移动，且该第一滑轨与该第二滑轨分别设有一第一螺杆与一第二螺杆，该第一螺杆与该第二螺杆分别螺旋穿过该第一滑台与该第二滑台。

上述的具有小角度位移及平行移动的工作平台机构，其中该第一螺杆与该第二螺杆分别连接一第一伺服马达与一第二伺服马达。

上述的具有小角度位移及平行移动的工作平台机构，其中该底板为设置于一移动平台上，该移动平台具有一移动方向，且该移动方向与该第一滑台与该第二滑台的移动方向不同，并该移动平台受一移动伺服马达的驱动而移动。

据此，本实用新型让该第一滑台与该第二滑台的同步位移时，即可让该工作平台平行移动，而当让该第一滑台与该第二滑台非同步位移时，该工作平台的两端即会产生位移差，而呈小角度旋转，且该工作平台旋转后所造成的侧向偏移，则为通过该侧向滑台的滑动来吸收。其机构单纯，且可同时提供转动与移动的自由度，因而准确度可提高且耐大冲击，可满足使用上的需求，又本实用新型具有大面积的加工优势（可加工范围到600*500毫米(mm)），与小行程的半导体机构有很大区别。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明

图1，为现有工作平台机构结构图；

图2，为本实用新型工作平台机构结构图；

图3，为本实用新型工作平台机构叠置于移动平台结构图；

图4，为本实用新型工作平台转动示意图；

图5，为本实用新型控制流程图。

具体实施方式

为对本实用新型的特征、目的及功效，有着更加深入的了解与认同，兹列举较佳实施例并配合附图说明如后：

请参阅图2所示，本实用新型为一种具有小角度位移及平行移动的工作平台机构，其包含一底板10、一第一滑台20、一第二滑台30、一侧向滑台40与一工作平台50，其中该第一滑台20与该第二滑台30同向且可滑动的设置于该底板10上，该侧向滑台40横向且可滑动的设置于该第一滑台20上，该工作平台50设置于该第一滑台20与该第二滑台30之间，且该工作平台50的两侧分别与该侧向滑台40、该第二滑台30枢接。