[实用新型]一种光电温度传感器

权利要求书

1.一种光电温度传感器，包括光源（1）、光电探测器（3），其特征在于，所述光电温度传感器还包括由非对称马赫-曾德干涉仪实现的光学温度传感部分（2）；所述光学温度传感部分（2）由分束器（4）、第一波导臂（5）、第二波导臂（6）和合束器（7）组成；所述第一波导臂（5）和第二波导臂（6）具有非对称的几何结构、不同的有效折射率n_eff和相近的归一化有效色散系数所述λ为马赫-曾德干涉仪中所传播的光波波长；所述非对称马赫-曾德干涉仪的第一波导臂（5）和第二波导臂（6）之间的光学相位差在-2π～2π的范围内。

2.根据权利要求1所述的一种光电温度传感器，其特征在于，所述马赫-曾德干涉仪采用的波导为非良导体材料波导或非良导体材料与金属结合的表面等离子体波导。

3.根据权利要求2所述的一种光电温度传感器，其特征在于，所述非良导体材料包括介质和有机物。

4.根据权利要求3所述的一种光电温度传感器，其特征在于，所述非良导体材料与金属结合的表面等离子体波导包括银与硅、金与硅。

5.根据权利要求2所述的一种光电温度传感器，其特征在于，所述非对称几何结构通过选取不同类型的波导来实施。

6.根据权利要求5所述的一种光电温度传感器，其特征在于，所述不同类型的波导包括脊型波导、沟道波导和条形波导。

7.根据权利要求2所述的一种光电温度传感器，其特征在于，所述第一波导臂（5）与第二波导臂（6）几何结构的非对称性通过选取同一类型但结构参数不同的波导来实施。