[实用新型]无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台

权利要求书

1.一种无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，其特征在于，包括第一直线电机、第一导轨、第一光栅尺、工作台本体和平板，所述第一导轨设于所述平板上，所述第一直线电机驱动所述工作台本体沿所述第一导轨移动，所述第一光栅尺设于所述平板上，所述第一光栅尺置于所述第一导轨的一侧，并与所述第一导轨平行。

2.如权利要求1所述的无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，其特征在于，所述平板为大理石平板。

3.如权利要求2所述的无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，其特征在于，所述直线电机包括定子和动子，所述定子和动子上还设有冷却装置。

4.如权利要求3所述的无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，其特征在于，所述冷却装置为风冷装置，所述定子上还设有气孔，所述风冷装置包括设于所述气孔上的风扇。

5.如权利要求3所述的无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，其特征在于，所述冷却装置为水冷装置。

6.如权利要求3所述的无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，其特征在于，所述冷却装置包括半导体温控元件。

7.如权利要求2所述的无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，其特征在于，所述直线电机上还设有温度传感器。

8.如权利要求1所述的无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，其特征在于，还包括设于所述平板上的第二直线电机、第二导轨和第二光栅尺，所述第二直线电机驱动所述工作台本体沿所述第二导轨移动，所述第二光栅尺设于所述第二导轨的一侧，所述第二导轨与所述第一导轨垂直。

9.如权利要求8所述的无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，其特征在于，所述第一直线电机和第二直线电机为无铁芯的直线电机。