[实用新型]一种用于8英寸重掺As硅单晶热场结构

权利要求书

1.一种用于8英寸重掺As硅单晶热场结构，它包括炉体（1），炉体内设置保温筒（2）、加热器（3）和石英坩埚（4），石英坩埚上部设有导流筒（8），炉体上部设有炉盖（10），炉盖上设有氩气进口（11），其特征在于，所述导流筒（8）上部设置集流筒（9），集流筒下部外侧与导流筒上边缘内侧接触，集流筒上沿与炉盖间距H为20-30毫米。

2.根据权利要求1所述的用于8英寸重掺As硅单晶热场结构，其特征在于，所述保温筒（2）上部设有支撑导流筒的盖板（5），盖板上部设置上保温筒（6），上保温筒设置在集流筒外围，上保温筒上部固定上盖板（7），所述集流筒由上盖板支撑。

3.根据权利要求2所述的用于8英寸重掺As硅单晶热场结构，其特征在于，所述集流筒（9）为圆台形，其圆台锥度与导流筒的内壁锥度匹配，集流筒上部设有向外延伸的搭接台（9-1）。

4.根据权利要求3所述的用于8英寸重掺As硅单晶热场结构，其特征在于，所述上保温筒（6）为固化毡，上保温筒壁厚为6-10mm。