[实用新型]一种钼片自动定位器

说明书

技术领域

本实用新型属于石英晶体元器件的设备领域，具体是一种钼片自动定位器。

背景技术

目前在石英晶体制造过程中，钼片的定位主要靠手动完成，在钼片手动定位器的底座与盖座定位过程中，上下的钼片容易出现移位偏差，从而导致如下缺陷：第一、离子枪刻蚀耗用高，导致离子枪故障率高，维护率高；第二、微调载条刻蚀损耗严重，维护治具的成本高；第三、刻蚀时间延长导致微调时间延长，造成微调效率低和产能低；第四、造成微调载条受损，导致直接刻蚀到被银电极，微调前后的电阻上升，微调优良率低，形成生产成本上升；第五、造成产品的电气特性（FL一致性、DLD一致性）和信赖性变差。随着石英晶体向小型化规格发展，设备使用厂家对设备制程能力要求逐步提高，精度要求及耗用要求提高，现有的手动钼片定位器已经不能满足要求。

发明内容

本实用新型的目的是在克服手动定位器所存在的缺陷，提供一种能解决底座与盖座自动准确对位，上下的钼片不会出现移位偏差的钼片自动定位器。

本实用新型采用以下技术方案实现：

一种钼片自动定位器，包括底座、钼片、盖座，其特征在于：底座由底板和底架构成，盖座由盖板和盖架构成，底架与底板、盖板与盖架均通固定螺丝固定，钼片由工位及大小一致的上钼片与下钼片组成，盖板与底板具有相同的卡位凹槽、通孔及螺纹孔，下钼片、上钼片分别与底板及盖板的中间部位有对应的卡位凹槽、通孔及螺纹孔，底座与下钼片用内六角螺丝固定，盖座与上钼片用内六角螺丝固定，底座与盖座有对应的卡位凹槽，底座、盖座、上下钼片对应位置的卡位凹槽内用陶瓷球定位，通过内六角螺丝将底座与盖座组装形成钼片自动定位器。

本实用新型底座、盖座、上下钼片对应位置的卡位凹槽内用耐高温、耐磨的陶瓷球定位，并通过固定螺丝固定，可以有效解决底座与盖座对位时上下钼片出现移位偏差状况，降低离子枪的耗用率和故障率，降低微调载条的维护成本，提高微调效率和微调产能，保证产品电气特性和信赖性。

附图说明

图1是本实用新型底板的结构示意图。

图2是本实用新型底架的结构示意图。

图3是本实用新型盖板的结构示意图。

图4是本实用新型盖架的结构示意图。

具体实施方式

下面参照附图所示，对本实用新型的具体实施方式做进一步说明。

如图1至4所示，一种钼片自动定位器，由底座1、钼片9、盖座2构成，其中底座1由底板3和底架11构成，盖座2由盖板4和盖架12构成，底架11与底板3、盖板4和盖架12均通过固定螺丝15固定，钼片9由工位及大小一致的上钼片与下钼片组成，盖板4与底板3具有对应的卡位凹槽一6、卡位凹槽二7、卡位凹槽三8、通孔5及螺纹孔10，下钼片、上钼片分别与底板3及盖板4的中间部位有对应的卡位凹槽二7、卡位凹槽三8、通孔5及螺纹孔10，底座1与下钼片、盖座2与上钼片均通过内六角螺丝14固定，底座1、钼片9、盖座2对位对应位置的卡位凹槽内用耐高温、耐磨的陶瓷球13定位，通过内六角螺丝14将底座1与盖座2组装形成钼片自动定位器。

更具体地，如图1所示，本实用新型底板3四周有十二个卡位凹槽一6和十二个通孔5，内壁有四个螺纹孔10，中间部位有四个卡位凹槽二7、四个卡位凹槽三8、二个通孔5和二个螺纹孔10；下钼片中间部位有圆形孔，四周有四个卡位凹槽二7、四个卡位凹槽三8、二个通孔5和二个螺纹孔10，通过内六角螺丝14将底座1与下钼片9组合在一起。

如图3所示，本实用新型盖板4四周有十二个卡位凹槽一6、十个螺纹孔5和二个通孔10，内壁有四个螺纹孔5，中间部位有四个卡位凹槽二7、四个卡位凹槽三8、二个通孔5和二个螺纹孔10；盖架12是把手状的固定架，通过固定螺丝15将盖板4与盖架12组合形成盖座2，上钼片9中间部位有圆形孔，四周有四个卡位凹槽二7、四个卡位凹槽三8、二个通孔5和二个螺纹孔10，通过内六角螺丝14将盖座2与上钼片组合在一起。陶瓷球13的特征是耐高温、耐磨，且尺寸一致。

本实用新型述底板3与盖板4的卡位凹槽一6，外观尺寸一致且一一对应；底板3的卡位凹槽二7与盖板4的卡位凹槽三8对应；底板3的卡位凹槽三8与盖板4的卡位凹槽二7对应。

本实用新型的钼片四周有倒角，所述的底座1、盖座2、底板3、盖板4、底架11、盖架12、内六角螺丝14、固定螺丝15均采用不锈钢材料。