[实用新型]一种掩模取放装置

说明书

技术领域

本公开总地涉及一种用于取放掩模的装置，具体而言，涉及一种掩模取放装置，以避免人工取放造成的掩模的损坏和污染。

背景技术

如图1所示，掩模100的下表面具有薄膜部（Pellicle）200，薄膜部200距离掩模100四周的边缘只有约4cm的距离，且薄膜部200应尽量避免被触碰，否则易被污染甚至受损，从而影响产品质量。在处理掩模100之前，需要将掩模100从来自厂商的包装盒中取出，并转移至一光罩盒内。目前，此取放动作将靠2名操作人员手动完成。为避免触碰到薄膜部，操作人员只能通过接触掩模边缘来取放掩模。因此，现有的人工取放掩模的过程十分不方便、效率低，且极易触碰薄膜部，造成污染。另外，由于掩模较重（约15kg），而手部着力点较小，因此，取放过程中存在掩模掉落等风险。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

公开了一种掩模取放装置，以避免对掩模造成损坏和污染，提高取放效率。

本公开的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本公开的实践而习得。

根据本公开的一个方面，提供一种掩模取放装置，用于取放掩模，该掩模取放装置包括：架体，包括一对支架，每一支架上设有第一轨道；升降部，位于该对支架之间且与该对支架耦合，并能够沿该第一轨道上升和下降，且该升降部具有第二轨道；及夹持部，用于夹持掩模，其连接于该升降部，并能够沿该第二轨道移动。

其中，该夹持部包括一对夹臂，该对夹臂能够沿着该第二轨道平移。

其中，该对夹臂能够沿着该第二轨道相互远离或靠近。

其中，该夹持部还包括锁定机构，该锁定机构设置于该夹臂上，并能够将该对夹臂锁定在该升降部。

其中，该对夹臂的端部具有L形的爪体，该爪体的内表面具有接触垫。

其中，该爪体的宽度为2-4cm。

其中，该掩模取放装置还包括控制部，用于控制该升降部沿该第一轨道上升或下降以及夹持部沿该第二轨道移动。

综上所述，通过使用本公开的掩模取放装置取放掩模，可避免人员手动取放掩模对掩模造成损坏和污染，避免人员因操作不当，导致掩模掉落；同时也能减少操作人员数及提高取放效率，减少作业时间。

附图说明

通过参照附图详细描述其示例实施方式，本公开的上述和其它特征及优点将变得更加明显。

图1示出掩模的结构示意图。

图2示出本公开的掩模取放装置的示意图。

图3示出掩模取放装置的爪部的示意图。

图4示出利用本公开的掩模取放装置取放掩模的示意图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本公开将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中，为了清晰，夸大了区域和层的厚度。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、材料等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本公开的各方面。

本实施方式提供一种掩模取放装置1，用于取放掩模100，掩模取放装置1包括：架体10、升降部20及夹持部30。

如图2所示，架体10包括一对支架11，每一支架上设有第一轨道12。

升降部20位于该对支架11之间且与该对支架11耦合，并能够沿第一轨道12升降，且升降部20具有第二轨道21。夹持部30用于夹持掩模100，连接于升降部20，并能够沿第二轨道21移动。

本实施例中，夹持部30包括一对夹臂31，该对夹臂31能够沿着第二轨道21平移。其中，该对夹臂31能够沿着该第二轨道21进行整体的移动，以与下方的掩模位置对齐，或者相互远离或靠近，以便释放或夹持掩模。