[实用新型]一种掩模取放装置有效
| 申请号： | 201420066529.9 | 申请日： | 2014-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN203728187U | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 刘刚;刘健行;黄章咏 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;吕俊清 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩模取放 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩模取放装置，用于取放掩模，其特征在于，该掩模取放装置包括：
架体，包括一对支架，每一支架上设有第一轨道；
升降部，位于该对支架之间且与该对支架耦合，并能够沿该第一轨道上升和下降，且该升降部具有第二轨道；及
夹持部，用于夹持掩模，其连接于该升降部，并能够沿该第二轨道移动。
2.如权利要求1所述的掩模取放装置，其特征在于，该夹持部包括一对夹臂，该对夹臂能够沿着该第二轨道平移。
3.如权利要求2所述的掩模取放装置，其特征在于，该对夹臂能够沿着该第二轨道相互远离或靠近。
4.如权利要求3所述的掩模取放装置，其特征在于，该夹持部还包括锁定机构，该锁定机构设置于该夹臂上，并能够将该对夹臂锁定在该升降部。
5.如权利要求1所述的掩模取放装置，其特征在于，该对夹臂的端部具有L形的爪体，该爪体的内表面具有接触垫。
6.如权利要求5所述的掩模取放装置，其特征在于，该爪体的宽度为2-4cm。
7.如权利要求1所述的掩模取放装置，其特征在于，该掩模取放装置还包括控制部，用于控制该升降部沿该第一轨道上升或下降以及夹持部沿该第二轨道移动。
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