[实用新型]一种区熔炉下轴旋转机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及非金属晶体的制造设备，尤其涉及一种区熔炉下轴旋转机构。

背景技术

在区熔炉单晶生长中，下轴带动单晶完成旋转和升降运动，其稳定性很大程度关系到区熔单晶生长的质量。随着大直径掺杂区熔技术的发展，为提高单晶的径向电阻率一致性，通常采用正反转拉晶技术，这对下轴旋转运动提出更高的要求。

传统的区熔炉中，如中国专利CN202968741U等，下轴旋转机构都是采用电机—减速机—皮带带动下轴旋转。在传统的区熔硅单晶生产过程中，单晶只做单个方向的旋转运动，不存在正反转的切换，传统下轴旋转机构是可以满足生产要求的。但随着正反转拉晶技术的应用，对下轴旋转机构的要求更高：传统的下轴旋转机构中，正反转切换时，皮带的自由边变换为张紧边，且电机与减速机、皮带轮与下轴之间键槽均有一定间隙，正反转切换过程中必然存在一定停顿，对单晶质量造成影响。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种区熔炉下轴旋转机构。

为解决技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种区熔炉下轴旋转机构，包括托盘、下轴、直驱电机和连接盘；所述直驱电机包括电机座和旋转轴，旋转轴安装于电机座内，旋转轴内设有贯通孔，所述下轴位于旋转轴的贯通孔内；所述托盘与电机座之间、旋转轴与连接盘之间以及连接盘与下轴之间固定连接。

作为一种改进，所述托盘与电机座之间、旋转轴与连接盘之间以及连接盘与下轴之间均采用4个或8个均匀分布的铰制孔螺钉固定连接。

作为一种改进，所述下轴、电机座、旋转轴和托盘的横截面均为以下轴的轴心为圆心的同心圆。

作为一种改进，所述托盘为具有升降功能的托盘。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型中，直驱电机通电后，通过旋转轴直接带动下轴旋转，避免了键槽和皮带的间隙，从根本上解决了传统区熔炉中正反转拉晶时的停顿问题，可实现稳定的下轴正反转，满足正反转拉晶技术要求。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

附图标记为：下轴1、直驱电机2、连接盘3、托盘4、旋转轴2a、电机座2b。

具体实施方式

以下的实施例可以使本专业技术领域的技术人员更全面的了解本实用新型，但不以任何方式限制本实用新型。

如图1所示，本实用新型中一种区熔炉下轴旋转机构，包括具有升降功能的托盘4、下轴1、直驱电机2和连接盘3；所述直驱电机2包括电机座2b和旋转轴2a，旋转轴2a安装于电机座2b内，电机座2b与托盘4固定连接，旋转轴2a设有贯通孔，直驱电机2通电后旋转轴2a可绕其轴线做旋转运动；所述下轴1位于旋转轴2a的贯通孔内，并通过连接盘3实现旋转轴2a与下轴1的固定；所述托盘4与电机座2b之间、旋转轴2a与连接盘3之间以及连接盘3与下轴1之间的固定连接均采用4个或8个均匀分布的铰制孔螺钉固定连接；所述托盘4与电机座2b之间、旋转轴2a与连接盘3之间以及连接盘3与下轴1之间均采用铰制孔螺钉固定连接。

其中，所述直驱电机2为伺服直驱电机；所述下轴1、电机座2b、旋转轴2a和托盘4的横截面均为以下轴1的轴心为圆心的同心圆。

因此，本实用新型的实际范围不仅包括所公开的实施例，还包括在权利要求书之下实施或者执行本实用新型的所有等效方案。