[实用新型]一种多晶硅铸锭过程中二次加料装置

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭过程中二次加料装置，其特征在于：包括装料筒总成、进出气系统总成、加热设备（11）和下料系统总成，所述装料筒总成包括装料筒（4）、盖在装料筒（4）上面的装料筒盖（3）、装在装料筒盖（3）上面的观察口（1）和装料筒（4）上设有压力表Ⅰ（2），进出气系统总成包括截止阀Ⅰ（5）、进气管（6）、进气流量计（7）、压力表Ⅱ（8）、出气管（9）和截止阀Ⅱ（10），进气管（6）和出气管（9）分别安装在装料筒（4）上端的两侧，进气管（6）从近至远到进气口的位置依次设有进气流量计（7）、截止阀Ⅰ（5），出气管（9）从近至远到出气口的位置依次设有压力表Ⅱ（8）、截止阀Ⅱ（10），出气管（9）与铸锭炉相连，加热设备（11）为覆盖在装料筒（4）底部锥形区域的加热层，下料系统总成包括从上至下顺序连接的导流器件（12）、下料管（13）和截止阀Ⅲ（14），导流器件（12）与装料筒（4）底部相通连接。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭过程中二次加料装置，其特征在于：所述加热设备（11）的发热材质为石墨材质。