[实用新型]一种光刻机的掩膜版降温装置

权利要求书

1.一种光刻机的掩膜版降温装置，包括箱体（1），设于箱体（1）一侧的进风口（13），安装于箱体（1）内的工作架（3），依次设于工作架（3）下端的压缩机（14）、加热器（15）和送风机（16），和设于工作架（3）一侧的高效过滤器（2），设于工作架（3）内由上至下的掩膜版（6）、镜头（10）和硅片工作台（12），以及安装于箱体（1）上与掩膜版（6）对应的汞灯（4），所述压缩机（14）位于进风口（13）的一侧，所述送风机（16）位于高效过滤器（2）的一侧，其特征在于：还包括安装于工作架（3）内用于实时检测掩膜版（6）温度的红外温度测试仪（5），和与红外温度测试仪（5）连接的用于对掩膜版（6）进行降温的冷却降温装置。

2.根据权利要求1所述的光刻机的掩膜版降温装置，其特征在于：所述冷却降温装置包括冷气泵（8），与冷气泵（8）连接的冷气管（7）和设于冷气泵（8）内用于控制冷气管（7）导通的电磁阀（9），并且当红外温度测试仪（5）检测到掩膜版（6）的温度变化超过0.2℃时，所述电磁阀（9）打开，所述冷气泵（8）通过冷气管（7）向掩膜版（6）上通入冷却气体直至红外温度测试仪（5）检测到掩膜版（6）的温度降低0.2℃时，所述电磁阀（9）关闭。