[发明专利]薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)清洗玻璃基片，后用高压N₂吹干；

(2)采用反应离子束技术对所述玻璃基片表面进行刻蚀，使所述玻璃基片表面具有绒面结构；并且

(3)采用磁控溅射技术在所述玻璃基片表面的绒面结构上沉积450～750纳米的AZO薄膜，从而得到绒面结构的AZO薄膜。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中清洗所述玻璃基片，包括先用丙酮超声15min，再用酒精超声15min，最后用去离子水超声15min。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中的刻蚀气体为Ar₂和CHF₃的混合气体，其流量比为1：1.5～2.5。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)采用的反应离子束刻蚀设备，本底真空为8×10-4～6×10^-3Pa；工作压强为2～6×10^-2Pa；离子束流能量为350～450eV；束流为60～90mA；加速电压180～260V；入射角为25～45°；刻蚀时间3～5min。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中磁控溅射镀AZO薄膜中，本底真空≤9×10-4Pa；工作压强为5～7×10^-1Pa；溅射功率150～250V；溅射工艺气体Ar₂流量20～30sccm；衬底温度150～300℃。