[发明专利]气体分析装置

说明书

本发明提供气体分析装置，能通过化学发光法高精度地测量试样气体中规定成分的浓度。气体分析装置(100)具有：气体分析部(1)、发光诱发成分产生部(2)和测量信号计算部(31)。气体分析部(1)能导入包含规定成分的试样气体和/或标准气体、及发光诱发气体。此外，气体分析部(1)输出基于通过规定成分和发光诱发成分的相互作用而产生的反应光强度的检测信号。发光诱发成分产生部(2)通过隔开放电产生间隔的时间反复产生的放电，产生发光诱发气体。测量信号计算部(31)根据基于通过导入试样气体和发光诱发气体而产生的反应光的第一检测信号和基于通过导入标准气体和发光诱发气体而产生的反应光的第二检测信号，计算第一测量信号。

技术领域

本发明涉及一种使用化学发光分析法的气体分析装置。

背景技术

以往公知有一种气体分析装置，使用化学发光分析法(CLA，ChemicalLuminescence Analysis method)，测量从烟道等产生的排气中的成分浓度。

例如，在专利文献1中公开了一种具备兼用于向反应槽供给臭氧和供给稀释用空气的臭氧流道的化学发光式氮氧化物测量装置，该装置配置有泵、流量调节器、流量计、臭氧产生器和平滑元件。在该气体分析装置中，为了稀释CO₂等消光性气体，将臭氧流道的流量调节成适当的流量，并使臭氧浓度最佳化，以能够按照试样气体的氮氧化物浓度使化学发光的检测灵敏度成为最大。此外，在所述气体分析装置中，通过脉宽调制型浓度设定器，控制对臭氧产生器进行驱动的高压电源。

此外，专利文献1中公开的化学发光式氮氧化物测量装置在间歇产生臭氧过程中，设置使臭氧浓度为0的区间，在使臭氧产生为0的区间中对发光强度的测量系统(光检测器及其放大系统)进行校准。由此，可以进行高灵敏度的放大。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开平7-301603号

然而，在基于使用了臭氧产生器的化学发光法、而该臭氧产生器通过放电产生臭氧(O₃)的气体分析装置中，特别是在试样气体中的测量对象成分(规定成分)的浓度低到数ppm(particle per million)左右的情况下，存在不能高精度地测量试样气体中的规定成分的浓度的问题。

发明内容

本发明的目的在于通过化学发光法高精度地测量试样气体中的规定成分的浓度。

下面，作为解决本发明的问题的技术方案，说明多种方式。可以根据需要任意组合所述方式。

本发明提供一种气体分析装置，其通过化学发光法测量试样气体的规定成分的浓度，所述气体分析装置具备：气体分析部，能够导入所述试样气体和/或标准气体、以及包含与所述规定成分相互作用的发光诱发成分的发光诱发气体，输出基于通过所述相互作用而产生的反应光的强度的检测信号；发光诱发成分产生部，通过隔开基于所述规定成分的浓度决定的放电产生间隔的时间反复产生的放电，产生所述发光诱发气体，并且将产生的所述发光诱发气体导入所述气体分析部；以及，测量信号计算部，基于将所述试样气体和所述发光诱发气体导入所述气体分析部时输出的第一检测信号、以及将所述标准气体和所述发光诱发气体导入所述气体分析部时输出的第二检测信号，计算用于测量所述规定成分的浓度的第一测量信号。

在气体分析装置中，首先，发光诱发成分产生部以放电产生间隔的时间间隔产生放电，产生包含发光诱发成分的发光诱发气体。向气体分析部导入所述发光诱发气体。

接着，在向气体分析部导入发光诱发气体的状态下，向气体分析部导入标准气体和/或试样气体。此时，当向气体分析部导入标准气体时，从气体分析部输出第二检测信号，该第二检测信号是基于通过导入标准气体和发光诱发成分而产生的反应光的检测信号。

另一方面，当向气体分析部导入试样气体时，从气体分析部输出第一检测信号，该第一检测信号是基于通过导入试样气体和发光诱发气体而产生的反应光的检测信号。