[发明专利]一种像素间串扰检测系统及方法

说明书

技术领域

本发明涉及光电图像传感器技术领域，特别是涉及一种像素间串扰检测系统及方法。

背景技术

光电图像传感器的像素间串扰(Cross Talk)是光电图像传感器的一项重要技术参数指标，对成像性能有显著影响。

理论上，若入射光斑足够小时，仅投射并覆盖光电图像传感器感光阵列的单个像素(如图1中的中间像素)，该中间像素受光后，产生电信号。该中间像素周边的像素(如图1中的周边像素)因未受光波照射，理论上应无信号输出。但实际上，由于载流子扩散效应等诸多因素作用，未受光波照射的临近中间像素的其他周边像素同样会产生微小信号输出。通过检测中心像素和周边像素输出信号的幅度，来进行像素间串扰参数的定量评价。

在现有技术中，通常用下述方式来进行像素间串扰检测。以物理遮光板覆盖待测光电图像传感器上的感光阵列，并事先在遮光板上加工微小光学孔/槽，形成带有微小光孔的整体暗室。采用平行光源进行照射，使微小光孔中进入的光只投射到待测的某些像素(中间像素)。然后采集该像素及其周边所有像素的输出，进而分析、计算得出像素间串扰参数数值。

采用上述方法，具有下述缺点。随着技术发展，图像传感器像素尺寸快速减小，常见图像传感器像素尺寸2～10um。从而难以实现单个像素尺度量级的孔、槽的加工。现有加工精度往往使光斑覆盖较多像素，所测得参数存在叠加效应。从而像素间串扰参数测量精度低，测量成本高。

因此，希望有一种微小光斑光学系统来克服或至少减轻现有技术的至少一个上述缺陷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种像素间串扰检测设备及方法来克服或至少减轻现有技术的上述缺陷中的至少一个。

为实现上述目的，本发明提供了一种像素间串扰检测系统，其特征在于，包括：

整体暗室(1)；

样品台，其设置在所述整体暗室(1)内，用于放置待测图像传感器；

微小光斑光学系统，其包括：

光源模块(2)，其设置在所述整体暗室内，用于产生不同波长的激光束；

聚焦装置(5)，其设置在所述整体暗室内，用于将所述激光束会聚后投射至待测图像传感器，使得照射在待测图像传感器上的光斑尺寸与待测图像传感器的至少一个像素尺寸具有同等规格。

本发明还提供了一种像素间串扰检测方法，其特征在于，所述方法在整体暗室内进行，且包括：

光源模块(2)用于产生激光束；以及

聚焦装置(5)将所述激光束会聚后投射至置于样品台的待测图像传感器，使得照射在待测图像传感器上的光斑尺寸与待测图像传感器的至少一个像素尺寸具有同等规格。从而不需要制造带有微小尺度孔槽的物理遮光板，降低了制造成本，提高了检测精度。

本发明的优点在于设计了一种光源波长可选，光强可调且可实时监控，光斑直径(2～10um)达到像素尺寸量级的微小光斑产生方法及装置。本发明的方案使得：1、测试结果更接近Cross Talk定义，测试结果更为准确；2、测试更加便利：因光波长可选，光强可调，光斑大小可控，可为不同测试条件下(如：同一种像素，不同入射光波波长；同一种像素，不同入射光光强；多种像素，变换光斑直径等)的测试提供便利。

附图说明

图1是现有技术中像素干扰原理的示意图。

图2是根据本发明一实施例的微小光斑光学系统的示意图。

图3是图1所示的微小光斑光学系统中的光源模块的示意图。

图4是图1所示的微小光斑光学系统中的光斑监测模块的示意图。

图5是图1所示的微小光斑光学系统的光路简略示意图。

图6是根据本发明一实施例的感光阵列像素串扰检测系统的结构框架示意图。

图7是本发明一实施例中样品台的电控调整步骤示意图。

附图标记：