[发明专利]基板处理装置有效
申请号: | 201410796585.2 | 申请日: | 2014-12-19 |
公开(公告)号: | CN105881246B | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
发明(设计)人: | 申屠江民;许亮;乐卫文;张平;胡雪龙;杜建通 | 申请(专利权)人: | 浙江金徕镀膜有限公司 |
主分类号: | B24D7/00 | 分类号: | B24D7/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 321016 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板处理装置 处理基板 第二表面 第一表面 同心环 触控 圆点 | ||
【说明书】:
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