[发明专利]一种使用椭偏仪测量光学薄膜偏振保真度的方法

权利要求书

1.一种使用椭偏仪测量光学薄膜偏振保真度的方法，其特征在于：该方法具体步骤如下：

步骤1：定义薄膜的偏振保真度：偏振方位角为45°线偏振光经系统或薄膜元件后出射光为椭圆偏振光，椭圆偏振光长、短轴之比描述系统或薄膜元件的偏振保真度；利用偏振光特点，偏振方位角为ψ的线偏振光，经光学薄膜样品反射或透射后变成椭圆偏振光，两偏振光的振幅比及相位差δ决定了这个椭圆偏振光的长轴a，短轴b之比及其在空间的取向ψ，椭圆的长短轴之比可确定椭圆的外形，椭圆的方位角ψ确定椭圆的空间取向；而和δ可实际测量；推导出δ和ψ之间的关系为：

±ab=tanx(-π4≤x≤π4)---(1)]]>

tan2φcosδ＝tan2ψ              (2)

sin2φsinδ＝sin2x          (3)

EPEStanφ(0≤φ≤π2)---(4)]]>

E_P²+E_S²＝a²+b²        (5)

由以上关系式，已知和ψ实际测量值，即可得到δ；

假设薄膜样品的反射P、S偏振分离度由公式(4)，(3)，(1)，推导其中，δ为薄膜元件P、S偏振光相位延迟；

步骤2：测量经过单个光学元件反射后的相位延迟δ；

步骤3：根据椭偏仪测量的相位延迟δ带入公式即可得到光学薄膜样品的偏振保真度。

2.根据权利要求1所述的一种使用椭偏仪测量光学薄膜偏振保真度的方法，其特征在于：偏振光经过单个光学薄膜元件后的相位延迟δ可通过可变角椭圆偏振仪进行测量。