[发明专利]一种高效散热结构的集成光电波导调制器及其制造方法

权利要求书

1.一种高效散热结构的集成电光波导调制器，其特征在于：包括电光波导调制器部件和金刚石薄片，其中，所述电光波导调制器部件包括金电极层、铬金层、二氧化硅缓冲层、铌酸锂光波导和铌酸锂衬底；电光波导调制器部件的铌酸锂衬底和金刚石薄片之间通过键合匹配液进行键合处理形成接触。

2.根据权利要求1所述的一种高效散热结构的集成电光波导调制器，其特征在于：铌酸锂衬底与金刚石薄片通过键合匹配液利用液体毛细键合工艺实现接触。

3.根据权利要求1或2所述的一种高效散热结构的集成电光波导调制器，其特征在于：所述铌酸锂衬底为X切向或Z切向的晶体。

4.根据权利要求1或2所述的一种高效散热结构的集成电光波导调制器，其特征在于：所述电光波导调制器部件中包括1个或2个铌酸锂光波导。

5.一种高效散热结构的集成光电波导调制器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)分别采用三氯甲烷和去离子水对电光波导调制器部件的铌酸锂衬底表面进行清洗；

(2)、对步骤(1)清洗后的铌酸锂衬底进行烘干处理；

(3)、分别采用碱性溶液和酸性溶液对金刚石薄片进行冲洗，并且在每次冲洗后，采用去离子水对残留在金刚石薄片上的碱性溶液或酸性溶液进行冲洗；然后再将金刚石薄片放入丙酮溶液中浸泡，并在浸泡之后利用去离子水冲洗残留在金刚石薄片上的丙酮溶液；

(4)、对步骤(3)冲洗后的金刚石薄片进行烘干处理；

(5)、将烘干处理后的电光波导调制器部件和金刚石薄片浸泡在键合匹配液中；

(6)、在保持电光波导调制器部件的铌酸锂衬底和金刚石薄片湿润的条件下，将金刚石薄片放置在电光波导调制器部件的铌酸锂衬底下方，并在所述金刚石薄片的下方施加气压，使得金刚石薄片和铌酸锂衬底之间形成键合接触，即金刚石薄片与铌酸锂衬底之间的干涉条纹消失。

6.根据权利要求5所述的一种高效散热结构的集成光电波导调制器的制备方法，其特征在于：在步骤(5)中采用的键合匹配液为甲醇溶液。

7.根据权利要求5所述的一种高效散热结构的集成光电波导调制器的制备方法，其特征在于：在步骤(3)中采用的碱性溶液为氨水和双氧水的混合溶液，酸性溶液为盐酸溶液。