[发明专利]一种用透光镜检测8英寸抛光片缺陷的方法

权利要求书

1.一种用透光镜检测8英寸抛光片缺陷的方法，其特征在于：所述方法使用透光镜设备检测8英寸抛光片的缺陷。

2.根据权利要求1所述的一种用透光镜检测8英寸抛光片缺陷的方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：

(1)开启测试系统总电源输入；

(2)开启电脑；

(3)开启控制盒，按下照明电源上的光源供电开关，此时观察输出电流表，电流值为5.4-5.6A，如果显示数值超过此范围，调节输出电流调节旋钮，将电流值调整到规定范围；

(4)开启成像显示系统；

(5)开启硅片传送系统控制器，将待测抛光片放置在硅片承载台上；

(6)选择测试参数；

(7)根据界面提示在各个片篮台上放置相应的片篮，并点击ENTER键确认，所有片篮确认结束后，系统将进入测试界面；

(8)观察显示器中的图形，如果不能完全显示，则调节硅片承载台倾斜调节旋钮使其完全显示；

(9)测试完毕后，取出所有片篮台上的片篮；

(10)关机：关闭硅片传送系统控制器，关闭成像显示系统，关闭电脑，关闭设备总电源输入。

3.根据权利要求1或2所述的一种用透光镜检测8英寸抛光片缺陷的方法，其特征在于：所述8英寸抛光片厚度为200μm-1500μm。

4.根据权利要求1或2所述的一种用透光镜检测8英寸抛光片缺陷的方法，其特征在于：所述8英寸抛光片的掺杂剂为As，P，Sb或B。