[发明专利]一种铜锌锡硫四元靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201410659317.6 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN104404456A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 张宁;余新平;容构华;刘鹏 | 申请（专利权）人： | 北京四方继保自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京金阙华进专利事务所(普通合伙) 11224 | 代理人： | 吴鸿维 |
| 地址： | 100085 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铜锌锡硫四元靶材 制备 方法 | ||
1.一种铜锌锡硫四元靶材的制备方法，其特征在于：按照化学计量比将纯度≥4N的高纯硫化亚铜Cu2S、硫化锌ZnS、二硫化锡SnS2粉末混合均匀；然后将混合粉末烘干、过筛；然后将混合均匀的粉末置于模具中通过热压烧结制备CZTS四元靶材。
2.一种铜锌锡硫四元靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包含以下步骤：
(1)按照化学计量比Cu2xZnySnS(x+y+2)将纯度≥4N的高纯硫化亚铜Cu2S、硫化锌ZnS、二硫化锡SnS2粉末经球磨充分混合均匀；
(2)将混合粉末烘干、过筛；
(3)将混合均匀的粉末置于模具中，在保护性气氛中，通过热压烧结工艺制成CZTS四元靶材。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：步骤(1)中所述化学计量比为：0.5≤2x/(1+y)≤1.2，0.7≤y≤1.8。
4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：步骤(1)中，所述球磨介质为无水乙醇、去离子水或者空气中的一种，球磨时间为1～24h。
5.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：在步骤(3)中，热压烧结时炉内(是否指磨具中的本底真空度)的本底真空≤3×10-2Pa，烧结温度为300～800℃，升温速率3-30℃/min，热压压力为10～80MPa，保温时间为0.5～12h，保温结束后卸压，随炉冷却至200℃以下取出。
6.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：在步骤(3)中，所述保护性气氛为真空或者充入保护性气体。
7.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：当保护性气氛为真空时，所述真空气压为20Pa以下。
8.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：当保护性气氛为为保护性气体时，所述保护性气体为氢气、氮气或氩气，保护性气体气压为1atm。
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