[发明专利]一种真空泵用复合密封

说明书

技术领域

本发明涉及真空领域的真空泵结构，具体地说是一种真空泵用复 合密封。

背景技术

真空泵由于具有优越的性能，在微电子、制药、精密加工、造纸、 包装等行业有着广泛的应用，尤其是在半导体、化工、制药有很多独 特的应用。

近年来，随着真空泵在半导体、化工、制药行业的应用，暴露出 了一些问题。传统轴封不能保证真空泵输送介质的完全密封，必然存 在着一定量的介质泄漏，这样不仅会缩短真空泵的使用寿命，若抽取 有毒、有害介质，还会危害操作者的生命。基于以上情况，需要一种 相对无泄漏的真空泵，这对于真空泵在半导体、制药、化工行业的应 用意义重大。

发明内容

为了解决现有真空泵存在介质泄漏的问题，本发明的目的在于提 供一种真空泵用复合密封。具有该复合密封真空泵通过活塞环密封、 密封圈、氮气密封和迷宫密封组合的方式将腔体和油箱、腔体和外界 完全隔离，一方面介质完全被封闭在腔体内，另一方面腔体和润滑油 完全被隔离，特别适用于半导体、化工、制药等有粉尘有毒有害介质 的工况。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明包括活塞环密封、密封圈、氮气密封、迷宫密封及排气腔， 所述真空泵的腔体与装有润滑油的油箱之间设有排气腔，所述真空泵 的转子轴由所述腔体穿出，由所述排气腔穿过，并插入所述油箱中； 所述转子轴位于排气腔内的部分分别套设有活塞环密封及迷宫密封， 该活塞环密封的两端与所述转子轴之间均设有密封圈，所述腔体内的 介质通过活塞环密封与该侧的所述密封圈密封，所述油箱内的润滑油 或油气通过该侧的所述密封圈及迷宫密封密封；所述排气腔内、位于 所述活塞环密封两端之间的位置设有所述氮气密封。

其中：所述排气腔内设有氮气腔，该氮气腔位于所述活塞环密封 两端之间；所述排气腔上开有氮气吹扫孔，该氮气吹扫孔的外端与外 界氮气源相连通，内端与所述氮气腔相连通，所述外界氮气源输出的 氮气通过氮气吹扫孔进入氮气腔内，在所述氮气腔内形成氮气密封； 所述氮气吹扫孔的轴向垂直于转子轴的轴向；所述活塞环密封一侧的 端面与同侧的排气腔的端面共面，该侧的活塞环密封与所述转子轴之 间设有第一密封圈；所述活塞环密封的另一侧与迷宫密封的一侧抵 接，该侧的活塞环密封与所述转子轴之间设有第二密封圈，所述迷宫 密封的另一侧与油箱密封连接。

本发明的优点与积极效果为：

1.本发明提供了非常可靠的密封方式，使腔体与外界完全隔离， 保证了介质的零泄漏，特别适用于半导体、化工、制药有粉尘有毒有 害介质的工况。

2.本发明实现了腔体与油箱的完全隔离，既阻止了输送介质进 入油箱，又阻止了润滑油或油气进入腔体，这样一方面保证了输送介 质的纯净无油，另一方面保证了在输送过程中阻止腐蚀介质进入油 箱，可以保证真空泵的安全、稳定。

3.本发明采用的复合密封，性能稳定，适合输送高温(80～100 ℃)介质等苛刻工况。

4.本发明结构紧凑，安装空间小，便于设备配套安装使用。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

其中：1为转子轴，2为腔体，3为第一密封圈，4为活塞环密封， 5为氮气吹扫孔，6为第二密封圈，7为迷宫密封，8为排气腔，9为 油箱，10为氮气腔。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。

如图1所示，本发明包括第一密封圈3、活塞环密封4、氮气密 封、第二密封圈6、迷宫密封7及排气腔8，真空泵的腔体2与装有 润滑油的油箱9之间设有排气腔8，真空泵的转子轴1由腔体2穿出， 由排气腔8穿过，并插入油箱9中。

转子轴1位于排气腔8内的部分分别套设有活塞环密封4及迷宫 密封7，活塞环密封4一侧的端面与同侧的排气腔8的端面共面，该 侧的活塞环密封4与转子轴1之间设有第一密封圈3，腔体2内的介 质通过活塞环密封4及第一密封圈3密封。活塞环密封4的另一侧与 迷宫密封7的一侧抵接，该侧的活塞环密封4与转子轴1之间设有第 二密封圈6，迷宫密封7的另一侧与油箱9密封连接，油箱9内的润 滑油或油气通过第二密封圈6及迷宫密封7密封。