[发明专利]一种球层状硫化锑薄膜制备方法

权利要求书

1.一种球层状硫化锑薄膜制备方法，包含如下步骤：

① 基板前期处理

裁剪后的玻璃基片先后置于蒸馏水、丙酮、无水乙醇中超声清洗30min，然后置于piranha溶液中浸泡处理5-60min，取出后氮气吹干备用；

② 薄膜前驱液配制

将分析纯0.003mol Na₂S₂O₃·5H₂O溶解于去离子水中，将分析纯0.002mol SbC1₃·2H₂O溶解于浓HCl中，然后将两种溶液混合后定容，在磁力搅拌器上搅拌溶液5min，滴加氨水调解前驱液pH值于2-5之间；

③将步骤                                                中处理后的基片置于步骤配置的前驱液中进行薄膜沉积，沉积时间为4-24h，沉积温度为30-60℃；

将最后沉积完成的薄膜在200-600℃条件下进行2h热处理，最终得到球层状硫化锑薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种球层状硫化锑薄膜制备方法，其特征在于：裁剪后的玻璃基片先后置于50ml蒸馏水、50ml丙酮、50ml无水乙醇中超声清洗30min，然后置于piranha溶液中浸泡处理5-60min，取出后氮气吹干备用；piranha溶液为H₂SO₄与H₂O₂混合溶液，两者体积比3：1。

3.根据权利要求1或2所述的一种球层状硫化锑薄膜制备方法，其特征在于：将分析纯0.003mol Na₂S₂O₃·5H₂O溶解于去离子水中，将分析纯0.002mol SbC1₃·2H₂O溶解于浓HCl中，然后将两种溶液混合定容至100ml。