[发明专利]一种硅片连接结构

说明书

技术领域

本发明涉及硅片清洗工装领域，具体为一种硅片连接结构。

背景技术

硅片清洗是硅棒在经过切割机切割后，将切割好的硅片与尚粘连的连接件一起运至清洗工位上进行清洗，现有一般采用硅棒夹具，其配置有传动机构及输送架，一旦生产流水线上需要多个硅片输送时，则对匹配输送架的数量要求高，相对来说增加了成本。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种硅片连接结构，其结构简单，能可靠固定住硅片连接件便于清洗，针对多个硅片输送时，无需增设输送架。

其技术方案是这样的，其包括硅片连接件、支撑杆，硅片粘连于所述硅片连接件上，所述支撑杆的一端设置有限位环，其特征在于：所述硅片连接件的中部设置有螺纹孔，所述支撑杆的另一端设置有螺纹，两根所述支撑杆的螺纹端连接所述螺纹孔。

本发明的有益效果在于：硅片连接件的中部设置螺纹孔，两根一端设有螺纹的支撑杆的螺纹端连接螺纹孔，这样在运送硅片时，只要将两根支撑杆拧入硅片连接件，支撑杆架在输送机构上，再由限位环限位，即可很方便地进行运送，不需要配设更多的输送架等设备，成本相对降低。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

见图1，本发明包括硅片连接件1、支撑杆2，硅片3粘连于硅片连接件1上，支撑杆2的一端设置有限位环4，硅片连接件1的中部设置螺纹孔5，支撑杆2的另一端设置螺纹，两根支撑杆2的螺纹端连接螺纹孔5。