[发明专利]一种粉体材料表面等离子体处理装置无效
| 申请号： | 201410573785.1 | 申请日： | 2014-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN104299882A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 尚书勇;孙敏 | 申请（专利权）人： | 苏州奥斯特新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 刘懿 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 材料 表面 等离子体 处理 装置 | ||
1.一种粉体材料等离子体表面处理装置，包括一设置有加料口（1）和出料口（8）的处理腔体（12），其特征在于:所述处理腔体（12）主要由一真空腔（13）和设置在所述真空腔（13）内的电池组件（3）组成，所述真空腔（13）一侧通过一进气口（4）连接有一进气系统（6），所述真空腔（13）的另一侧通过一抽气口（11）连接有一抽真空系统（10），所述电池组件（3）连接有一高频电源（7），所述的进气系统（6）、抽真空系统（10）和高频电源（7）分别连接至一控制系统（9）。
2.根据权利要求1所述的粉体材料等离子体表面处理装置，其特征在于：所述处理腔体（12）上还设置有一可使所述处理腔体（12）绕其中心轴往复反转的驱动装置（5），所述驱动装置（5）连接至所述控制系统（9）。
3.根据权利要求1或2所述的粉体材料等离子体表面处理装置，其特征在于：所述处理腔体（12）内设置有若干扰流件（2），所述的若干扰流件（2）分布在所述真空腔（13）的上下两段，所述电池组件（3）位于所述真空腔（13）的中段。
4.根据权利要求1所述的粉体材料等离子体表面处理装置，其特征在于：所述电池组件（3）由若干对平板电极构成。
5.根据权利要求4所述的粉体材料等离子体表面处理装置，其特征在于：所述平板电极上开设有若干通孔。
6.根据权利要求1所述的粉体材料等离子体表面处理装置，其特征在于：所述进气口（4）和抽气口（11）通过旋转密封装置密封。
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