[发明专利]EUV光源和曝光装置、校准装置和校准方法

权利要求书

1.一种EUV光源，其特征在于，包括：

液滴阵列，所述液滴阵列包括沿直线扫描方向排布的若干喷嘴，若干喷嘴适于依次向下方的辐射位置喷吐液滴；

激光源，适于产生激光束，并使激光束沿直线扫描方向扫描，依次轰击到达辐射位置的液滴，液滴受到激光束轰击时形成等离子体，等离子体辐射极紫外光；

聚光器，所述聚光器包括聚光镜和与聚光镜连接的第一驱动装置，第一驱动装置适于驱动所述聚光镜旋转扫描，使得聚光镜收集辐射的极紫外光，并将收集的极紫外光汇聚于中心焦点，所述聚光镜具有椭球型的反射面，所述聚光镜包括沿旋转扫描方向分布的第一侧边缘区域、中间区域和第二侧边缘区域，第一侧边缘区域和第二侧边缘区域分别位于中间区域的两侧，所述第一侧边缘区域具有向椭球型内侧偏移的第一偏移量，第二侧边缘区域具有向椭球型外侧偏移的第二偏移量。

2.如权利要求1所述的EUV光源，其特征在于，所述喷嘴的数量大于等于2个。

3.如权利要求2所述的EUV光源，其特征在于，所述若干喷嘴沿直线扫描方向依次包括第一喷嘴、第二喷嘴、第三喷嘴……第N喷嘴，N≥3，在第一喷嘴喷吐第一液滴后，第二喷嘴滞后于第一喷嘴第一时间喷吐第二液滴，第三喷嘴滞后于第二喷嘴第一时间喷吐第三液滴……第N喷嘴滞后于第N-1喷嘴第一时间喷吐第N液滴，一个第一液滴和相邻的一个第二液滴、一个第三液滴……一个第N液滴构成一排液滴。

4.如权利要求3所述的EUV光源，其特征在于，所述第一喷嘴在喷吐第一滴第一液滴后，间隔第二时间喷吐第二滴第一液滴，第二喷嘴在喷吐第一滴第二液滴后，间隔第二时间喷吐第二滴第二液滴，第三喷嘴在喷吐第一滴第三液滴后，间隔第二时间喷吐第二滴第三液滴……第N喷嘴在喷吐第一滴第N液滴后，间隔第二时间喷吐第二滴第N液滴，第一滴第一液滴、第一滴第二液滴、第一滴第三液滴……第一滴第N液滴构成第一排液滴，第二滴第一液滴、第二滴第二液滴、第二滴第三液滴……第二滴第N液滴构成第二排液滴。

5.如权利要求4所述的EUV光源，其特征在于，所述激光源包括激光器、反射镜和第二驱动装置，所述反射镜包括第一反射镜和第二反射镜，第二驱动装置包括第三子驱动装置和第四子驱动装置，所述第一反射镜位于第二反射镜上方，第一反射镜反射部分激光束，形成第一激光束，第三子驱动装置与第一反射镜连接，第三子驱动装置驱动第一反射镜旋转，使得第一激光束沿直线扫描方向扫描；第二反射镜反射部分激光束，形成第二激光束，所述第四子驱动装置与第二反射镜连接，所述第四子驱动装置驱动第二反射镜旋转，使得第二激光束沿直线扫描方向扫描，所述第一激光束和第二激光束沿直线扫描方向扫描时，所述第一激光束和第二激光束依次交替的轰击到达辐射位置的不同排的液滴。

6.如权利要求5所述的EUV光源，其特征在于，所述聚光镜包括分离的上部分聚光镜和下部分聚光镜，上部分聚光镜位于下部分聚光镜上方，上部分聚光镜和下部分聚光镜沿直线扫描方向均包括第一侧边缘区域、中间区域和第二侧边缘区域，所述第一侧边缘区域和第二侧边缘区域分别位于中间区域两侧，所述上部分聚光镜和下部分聚光镜的第一侧边缘区域具有向椭球型内侧偏移的第一偏移量，所述上部分聚光镜和下部分聚光镜的第二侧边缘区域具有向椭球型外侧偏移的第二偏移量，所述第一驱动装置包括第一子驱动装置和第二子驱动装置，所述第一子驱动装置与上部分聚光镜连接，适于驱动上部分聚光镜旋转扫描，使得上部分聚光镜收集被第一激光束轰击时辐射的极紫外光，并将收集的极紫外光汇聚于中心焦点，所述第二子驱动装置与下部分聚光镜连接，适于驱动下部分聚光镜旋转扫描，使得下部分聚光镜收集被第二激光束轰击时辐射的极紫外光，并将收集的极紫外光汇聚于中心焦点。