[发明专利]一种弹性压力传感器矩阵及用于检测组织弹性的探头

权利要求书

1.一种弹性压力传感器矩阵，包括弹性压力传感器单元(1)，其特征在于，所述弹性压力传感器单元(1) 紧密固定于硬性定型背衬(2) 之上，该弹性压力传感器单元(1) 纵列、横列连接，纵列的弹性压力传感器单元(1) 通过经导线(4) 连接，横列的弹性压力传感器单元(1) 通过纬导线(5) 连接，经导线(4)、纬导线(5) 由线缆(6) 导出，所述弹性压力传感器单元(1) 以单晶硅为基础材料, 为边长1-5mm 的正方形，厚度为0.2-3mm，所述弹性压力传感器单元(1) 之间采用单面微距切割展裂的方式，通过硅片晶向裂解的方法，沿裂片槽(8) 展裂压力传感器单元上极板，并将压力传感器单元紧密粘接固定于单一轴向硬性定型背衬（2）之上，进而由传感器单元纵横并列连接成为单一轴向弯曲的弹性压力传感器矩阵(3)。

2.根据权利要求1 所述的弹性压力传感器矩阵，其特征在于，纵列弹性压力传感器单元(1) 为奇数列，奇数列的弹性压力传感器单元(1) 数量至少为7 个；横列弹性压力传感器单元(1) 为偶数列，偶数列的弹性压力传感器单元(1) 数量至少为8 个。

3.根据权利要求2 所述的弹性压力传感器矩阵，其特征在于，将偶数列传感矩阵单元以单一轴向方式进行均匀曲面化处理。

4.根据权利要求1 所述的弹性压力传感器矩阵，其特征在于，所述连接弹性压力传感器单元(1) 的经导线(4)、纬导线(5) 为铜导丝、金导丝、转印的石墨烯导丝中的一种，经导线(4)、纬导线(5) 相互绝缘，并分别连接至经压焊板片、纬压焊板片。

5.根据权利要求1所述的弹性压力传感器矩阵，其特征在于，所述弹性压力传感器单元(1) 的密度最高达250 个/cm2，单点采样频率250Hz，压力传感矩阵的量程为0-1000kPa之间，压力综合测量误差≤ 5％ F.S。

6. 一种用于检测组织弹性的探头，包括柔性膜(7)、弹性压力传感器矩阵(3) 和把手(14)，所述弹性压力传感器矩阵(3) 上面均匀紧密地覆盖有柔性膜(7)，其特征在于，所述弹性压力传感器矩阵(3) 为上述权利要求1-5任一所述。

7.根据权利要求6所述的用于检测组织弹性的探头，其特征在于，所述柔性膜(7)为派瑞林、TPU、派瑞林与TPU 复合膜中的一种。

8. 根据权利要求7 所述的用于检测组织弹性的探头，其特征在于，所述探头表面可设计为平面或曲面，曲率最小至1/5mm。