[发明专利]光学的位置测量装置

权利要求书

1.一种光学位置测量装置，具有量具(10；110；210)和能相对所述量具沿着至少一个测量方向运动的扫描单元(20；120；220；320)，其中，在所述量具(10；110；210)与所述扫描单元(20；120；220；320)之间设计扫描光路，所述扫描光路用于产生与移动相关的信号，

其特征在于，

保护罩(30；130；230；330)布置成能沿着垂直于量具平面的轴线运动，使得在至少一种工作模式下，所述保护罩(30；130；230；330)尽可能地环绕所述扫描单元(20；120；220；320)与所述量具(10；110；210)之间的所述扫描光路，并且

所述保护罩(30；130；230；330)包括复位件，在供电失效的情况下，所述复位件自动地设定所述保护罩(30；130；230；330)与所述量具(10；110；210)之间的最大可行距离。

2.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述保护罩(30；130；230；330)与所述量具(10；110；210)之间的距离

能在第一工作模式下调节到距离值，使得所述保护罩(30；130；230；330)至少在所述扫描光路对折射系数波动敏感的空间区域内屏蔽所述扫描单元(20；120；220；320)与所述量具(10；110；210)之间的所述扫描光路，并且

能在至少一个第二工作模式下调节到比在所述第一工作模式下更大的距离值。

3.根据权利要求2所述的位置测量装置，其特征在于，在所述保护罩(30；130；230；330)内集成空气轴承(170)，通过所述空气轴承能在所述第一工作模式下调节所述保护罩(30；130；230；330)与所述量具(10；110；210)之间的恒定距离值。

4.根据权利要求1或2所述的位置测量装置，其特征在于，存在磁式或气动式触发器，以便沿着轴线对所述保护罩(30；130；230；330)进行限定地定位。

5.根据权利要求4所述的位置测量装置，其特征在于，所述保护罩(30；130；230；330)与所述量具(10；110；210)之间的距离不取决于工作台的位置地恒定地保持，在所述工作台上布置有所述扫描单元(20；120；220；320)。

6.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述复位件设计为弹性元件(43)，所述保护罩(30；130；230；330)能够通过所述弹性元件进行机械地预张紧。

7.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述保护罩(30；130；230；330)的外部轮廓设计为使得通过所述外部轮廓，环流经过所述保护罩(30；130；230；330)的空气不会形成空气漩涡。

8.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述保护罩(30；130；230；330)的外部轮廓设计为使得通过所述外部轮廓，环流经过所述保护罩(30；130；230；330)的空气不会对所述量具(10；110；210)产生作用力。

9.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，在所述保护罩(30；130；230；330)上至少布置一个流动元件，所述流动元件设计为，使得在布置有所述扫描单元(20；120；220；320)的工作台具有确定的速度时，所述保护罩(30；130；230；330)上的制动压力和抽吸压力与所述流动元件上的动态压力相抵消。

10.根据权利要求9所述的位置测量装置，其特征在于，所述流动元件设计为导风板，所述导风板侧面地布置在保护罩(30；130；230；330)上。

11.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述保护罩(30；130；230；330)布置为能绕着与所述量具平面垂直地竖立的轴线旋转。