[发明专利]双阴极等离子制备纳米晶Cr3Si耐冲刷腐蚀合金层的新方法在审
| 申请号： | 201410482155.3 | 申请日： | 2014-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN104451539A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 徐江;丁刚;曹小江 | 申请（专利权）人： | 南通帝普复合材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阴极 等离子 制备 纳米 cr sub si 冲刷 腐蚀 合金 新方法 | ||
【权利要求书】：
1.双阴极等离子制备纳米晶Cr3Si耐冲刷腐蚀合金层的新方法，其特征在于一种利用双阴极等离子溅射沉积为技术手段，在钢铁材料表面形成致密的纳米晶Cr3Si硅化物层，该涂层不仅具有较高的韧性，而且能够显著提高钢铁材料表面在腐蚀性介质中的耐冲刷性能；其主要特征在于：
靶材电压：1000～1500V；
工件电压：500～650V；
靶材与工件间距：6～10mm；
气压(Ar气)：30～35Pa；
溅射的靶材的种类：
选用纯度分别为99.5％Cr粉、99.9％的Si粉，按照摩尔百分比Cr：Si＝1：1；
工件材料的种类：钢铁材料。
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