[发明专利]一种高压输出安全放电电路

说明书

技术领域

本发明是一种高压输出安全放电电路，通过检测放电执行电路系统的状态 且可以控制高压电路安全开启或者关闭，并对高压区域隔离条件信号做出判 断，如果隔离条件不满足则可以自动做出安全气动隔离高压电路放电的命令， 进而达到提高电路电气安全性能的目的。

背景技术

集成电路制造技术及工艺是关乎国计民生的战略性工程，对保障国家安全 和增强综合国力具有重大战略意义，是一种高新技术产业。

经过对低能大束流项目的指标参数和工艺要求分析，但由于工艺技术和工 艺特点不同，从注入安全性方面和工艺调试方面提出了更高的要求，因此本发 明提供了一种高压输出安全放电保护，确保注入工艺的安全性和可靠性。

发明内容

本发明是一种高压输出安全放电电路在离子注入机中的应用，采用气动隔 离控制电路以及高压安全放电回路。

本发明通过以下技术方案实现：

1，一种高压输出安全放电电路，如图1一种高压输出安全放电电路原 理图包括：控制器(1)、放电执行电路系统(2)、高压区域隔离装置(3)、 气动装置(4)此系统可以检控高压电源装置安全可靠工作及关闭。其中 控制器(1)，去检测放电执行电路系统(2)的状态；如果当高压区域隔 离装置(3)安全关闭条件满足，放电执行电路系统(2)的条件满足，进 而远程控制气动装置单元(4)的开启状态，从而使区域高压电源安全地 供电。

2，此电路可以通过上位机控制器1在线检测放电执行电路系统(2)的状 态且可以控制供电电路的放电棒开启或者关闭。从而达到监控电路电气安全性 能的目的。

3，此电路可以通过上位机控制器1可以对高压区域隔离装置(3)条件信 号做出判断，如果条件不满足并可以自动做出安全放电的命令，进而达到提高 电路电气安全性能的目的。

本发明具有如下优点：

本发明是一种高压输出安全放电电路，通过检测放电执行电路系统(2) 的状态且可以控制放电电路的开启或者关闭，并对高压区域隔离装置(3) 条件信号做出判断，如果条件不满足并可以自动做出安全气动高压接地放电 的命令，进而达到提高电路电气安全性能的目的。

附图说明

图1一种高压输出安全放电电路原理图

具体实施方式

下面结合附图的具体实施例对本发明作进一步介绍，这些描述都是说明性的， 本发明不限于此。本发明的范围仅由所附权利要求的范围所限定。

一种高压输出安全放电电路，其图1一种高压输出安全放电电路原理图包括： 控制器(1)、放电执行电路系统(2)、高压区域隔离装置(3)、气动装置(4) 此系统可以控制高压电源装置安全可靠工作及关闭。工作流程：首先高压区域 隔离装置(3)中隔离条件满足，开关闭合，此时24VAC信号进入继电器K1， K2的常开触点，此时可以分区域开启或者关闭外部气动装置(4)；如果要开 启，电源控制器(1)输出DOUT1使能开启，此时继电器K1线包得电，此时 放电执行电路系统(2)进入安全联锁状态，此时继电器K1常开触点闭合，使 得气动装置(4)安全供电，此时分析器区域放电棒上升工作，同时分析器区域 放电棒传感器常开触点闭合，把分析器UP信号反馈给控制器1输入DIN1， 同理可以控制平行透镜区域放电棒升起；此时可以给这两个区域安全加上高 压。如果外界环境条件突然变化，隔离装置不满足条件，或者通过控制器给继 电器K1，K2线包断电，控制放电棒放下，使得区域电源高压安全断开。所以 通过此装置可以监控区域高压电源装置安全可靠工作及关闭。

以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言， 在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发 明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。