[发明专利]固态成像器件、电子装置以及检查装置

权利要求书

1.一种固态成像器件，包含：

第一像素，其包括具有预定尺寸的开口的遮光部；以及

第二像素，其包括在与所述第一像素的开口的位置不同的位置处的、具有预定尺寸的开口的遮光部，其中

靠近所述第一像素的遮光部的中心提供所述第一像素的开口；并且

靠近所述第二像素的遮光部的末端提供所述第二像素的开口，

其中，所述第一像素和所述第二像素包括通过比较所述第一像素的输出信号和所述第二像素的输出信号来测量所述固态成像器件的灵敏度特性的像素。

2.根据权利要求1所述的固态成像器件，其中，

所述第一像素和所述第二像素包括测量所述固态成像器件的特性的像素。

3.根据权利要求2所述的固态成像器件，其中，

在所述固态成像器件的有效像素区域的外部提供所述第一像素和所述第二像素。

4.根据权利要求3所述的固态成像器件，其中，

在所述固态成像器件的边缘部分提供所述第一像素和所述第二像素中的每一个。

5.根据权利要求2所述的固态成像器件，其中，

所述第一像素和所述第二像素连接到后级的共用电路。

6.根据权利要求2所述的固态成像器件，其中，

所述第二像素包括多个第二像素。

7.根据权利要求2所述的固态成像器件，其中，

所述第一像素包括多个第一像素；

所述第二像素包括多个第二像素；并且

所述多个第一像素和所述多个第二像素形成多个对。

8.根据权利要求2所述的固态成像器件，其中，

所述固态成像器件的所述第一像素和所述第二像素中的每一个包括具有电位的光电转换单元，在所述光电转换单元中得到的电荷的读出方向上对所述电位提供梯度。

9.根据权利要求8所述的固态成像器件，其中，

所述第二像素的开口具有与在所述光电转换单元中具有相同的电位的区域相同的形状，并且提供在与所述区域相对应的位置处。

10.根据权利要求8所述的固态成像器件，其中，

所述第二像素的开口具有与在所述光电转换单元中具有彼此不同的电位的区域之间的边界部分相同的形状，并且提供在与所述边界部分相对应的位置处。

11.根据权利要求2所述的固态成像器件，还包含包括所述第一像素和所述第二像素的至少三个像素，所述至少三个像素中的每一个包括遮光部，所述遮光部包括开口，在彼此不同的位置处提供所述至少三个像素的开口。

12.根据权利要求2所述的固态成像器件，其中，

所述固态成像器件包括面积传感器。

13.一种电子装置，包括：

固态成像器件，该固态成像器件包括

第一像素，其包括具有预定尺寸的开口的遮光部；以及

第二像素，其包括在与所述第一像素的开口的位置不同的位置处具有预定尺寸的开口的遮光部，

靠近所述第一像素的遮光部的中心提供所述第一像素的开口；并且

靠近所述第二像素的遮光部的末端提供所述第二像素的开口，

其中，所述第一像素和所述第二像素包括通过比较所述第一像素的输出信号和所述第二像素的输出信号来测量所述固态成像器件的灵敏度特性的像素。