[发明专利]一种太阳能电池的双面扩散方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的双面扩散方法，其特征在于，包括：

步骤S01：将两个晶圆的背面相对贴合；

步骤S02：对两个所述晶圆的正面进行第一掺杂元素扩散，在每个所述晶圆正面形成第一扩散层，同时在所述晶圆背面和边缘形成第一杂质层；

步骤S03：将两个所述晶圆分开，并采用湿法刻蚀去除每个所述晶圆背面和边缘的第一杂质层；

步骤S04：将两个所述晶圆的正面相对贴合，此时所述晶圆的正面仅为第一扩散层；

步骤S05：对两个所述晶圆的背面进行第二掺杂元素扩散，在每个所述晶圆背面形成第二扩散层，同时在所述晶圆正面和边缘形成第二杂质层，且所述晶圆正面的第二杂质层为由所述第二掺杂元素和所述第一掺杂元素形成的共掺杂层；

步骤S06：将两个所述晶圆分开，并采用湿法刻蚀去除每个所述晶圆正面和边缘的第二杂质层。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的双面扩散方法，其特征在于，所述步骤S03采用化学腐蚀法去除所述第一杂质层，具体包括：将所述晶圆的背面向下接触药液，所述晶圆的正面向上而不接触药液；所述步骤S06采用化学腐蚀法去除所述第二杂质层，具体包括：将所述晶圆的正面向下接触药液，所述晶圆的背面向上而不接触药液。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池的双面扩散方法，其特征在于，所述化学腐蚀法所采用的药液为酸性药液。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池的双面扩散方法，其特征在于，所述化学腐蚀法所采用的温度为0～25℃，浸泡时间为1～800秒。

5.根据权利要求3所述的太阳能电池的双面扩散方法，其特征在于，所述酸性药液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液；所述氢氟酸与硝酸的比例为1:(5～10)。

6.根据权利要求2所述的太阳能电池的双面扩散方法，其特征在于，所述化学腐蚀法所采用的药液为碱性药液。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池的双面扩散方法，其特征在于，所述化学腐蚀法所采用的温度为60～90℃，浸泡时间为1～800秒。

8.根据权利要求6所述的太阳能电池的双面扩散方法，其特征在于，所述碱性药液为氢氧化钠或氢氧化钾与异丙醇的混合溶液；所述氢氧化钠或氢氧化钾的质量分数为0.5～2.5％，所述异丙醇的质量分数为1～3％。