[发明专利]一种基于紫外光刻技术的布基微流控芯片制备方法有效
申请号: | 201410339906.6 | 申请日: | 2014-07-16 |
公开(公告)号: | CN104069904A | 公开(公告)日: | 2014-10-01 |
发明(设计)人: | 章春笋;吴培京 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 郭炜绵 |
地址: | 510631 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 紫外 光刻 技术 布基微流控 芯片 制备 方法 | ||
1.一种基于紫外光刻技术的布基微流控芯片制备方法,其特征在于包括如下步骤:
(1)配制聚乙烯醇肉桂酸酯光刻胶
将5-50%PVC溶解于49.0-94.9%环己酮中,搅匀,然后加入0.1-1.0%5-硝基苊,搅匀,得到PVC光刻胶,转移到棕色瓶中,避光放置待用;所述的百分比是各原料占光刻胶原料总质量的百分比;
(2)布片预处理
将纯棉布片在20%NaOH溶液中浸泡5min,取出后用纯净水清洗,然后将布片绷紧以施加张力;绷紧后的纯棉布片用十二烷基硫酸钠洗涤、清水冲洗;接着,用1%冰乙酸溶液中和布片上残留的少量NaOH,最后用清水洗净,烘干;
(3)掩膜的设计
通过Adobe Illustrator CS4软件来设计布基微流控芯片的掩膜图案,掩膜设计有对准标记;用激光打印机打印掩膜图案的AI文件,得到曝光掩膜;
(4)布基微流控芯片紫外光刻加工
预处理的布片悬空绷紧,将PVC光刻胶均匀涂于布片上;涂胶布片在80℃烘烤20min,完成前烘;待冷却后,把布片放置于载片平台,掩膜对准,进行紫外曝光;曝光后将涂胶布片在95℃烘烤2min,完成后烘;冷却后,将涂胶布片放到丁酮中摇晃浸泡完成显影;然后,将其放到丙酮中摇晃浸泡完成漂洗;此后,用纯净水冲洗,再用3%SDS溶液洗涤,再次用纯净水冲洗;最后,把布片烘干、冷却,得到布基微流控芯片。
2.根据权利要求1所述的基于紫外光刻技术的布基微流控芯片制备方法,其特征在于:所述步骤(1)中,PVC的用量占15%,环己酮的用量占84.7%,5-硝基苊的用量占0.3%,所述的百分比是各原料占光刻胶原料总质量的百分比。
3.根据权利要求1所述的基于紫外光刻技术的布基微流控芯片制备方法,其特征在于:
所述的掩膜图案是以下中的一种:
A、掩膜图案的基本单位是一个几何图形;
B、掩膜图案的基本单位是两个几何图形,其间由线条连接;
C、掩膜图案的基本单位是一个复杂流路,该复杂流路由多个小的几何图形通过线条与一个大的几何图形连接,这些小的几何图形之间不连接;
D、掩膜图案的基本单位是A、B或C中的两种以上;
所述的几何图形可以是圆形、三角形、矩形或星形中的一种以上。
4.根据权利要求1所述的基于紫外光刻技术的布基微流控芯片制备方法,其特征在于:步骤(4)所述的紫外曝光是在400W紫外曝光系统下曝光3min。
5.一种布基微流控芯片,其特征在于:是由权利要求1-4任一项所述的方法制备得到。
6.权利要求5所述的布基微流控芯片在分析检测中的应用。
7.权利要求5所述的布基微流控芯片在检测尿液葡萄糖中的应用。
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